欲求其上，必求上上，探索半导体探针台国产化之路

随着国内多个12寸晶圆厂的建立，快速激增了以探针台测试设备为代表的市场需求，国内探针台市场一举成为了全球增长最快的市场之一。据SEMI，CSA Research相关数据统计，预计2026年将达到98亿元，年复合增长率(CAGR)为10.0%。国内探针台市场规模2022年将增长到15.69亿元。

全球探针台市场规模及国内探针台市场规模

无论是芯片设计的可靠性验证测试，或是晶圆量产中的WAT和CP测试，探针台在其中起着至关重要的作用。探针台设备主要技术壁垒在系统的精准定位、微米级运动以及高准确率通信等关键参数。目前全球高端探针台市场仍主要被美、日、韩等国所占据。近年来在国家对半导体产业的大力扶持下，国产化技术的发展进程不断加快，中国半导体设备企业将加速迎来国产替代的机会。在国内半导体设备市场中，探针台是我国目前最有希望能实现高国产化率的设备。

今天我们有幸来到全球先进晶圆探针台制造商之一，深圳市森美协尔科技有限公司(SEMISHARE)，与SEMISHARE创始人/CEO刘世文先生进行交流，探秘中国自己的先进探针台科技。

SEMISHARE成立于2009年，是一家以半导体、面板产业为发展方向,集探针台、面板激光修复设备的研产销为一体的国家级高新技术企业。

2011年

在国内第一家推出SCG系列高低温真空探针台。

2012年

在国内第一家推出自主知识产权的Touch Panel /LCD 用激光修复机LP IR/GRN ，应用于面板的laser cut/welding修复。

2013年

与美国ESI(Boston、Montreal、深圳三地)共同合作研发应用于oled修复的飞秒激光项目和DM亮点暗化项目。

2014年

在国内第一家推出自主研发的TEG Prober面板激光探台。

06月-推出高精度变温霍尔效应测试系统。

2015年

在中国率先推出Flex系列亮点暗化激光系统应用于TFT-LCD/OLED的亮点暗化，较传统的修复方式在良率和效率方面有极大的提升。

10月，在国内第一家推出in-line CVD激光修复机，应用于客户量产。

2016年06月

SEMISHARE参与总投资超过20亿元，由哈工大和中国航天科技集团共建的“空间环境地面模拟装置”项目的部分核心项目设计，在超低温，超高真空，自动控制，激光模拟方面发挥SEMISHARE技术优势。

2019年

推出自主技术的X12半自动探针台，并获得龙头企业量产订单。

2021年

推出自主技术的第二代A12全自动探针台。

SEMISHARE多年坚守自主研发创新，现有100+项先进半导体制造测试技术专利，40+项软件著作。SEMISHARE通过持续投入和优化研发布局，不断提高产品的核心竞争力。SEMISHARE每年持续将15%的费用投入到技术研发、实验设备的改造更新和技术人才的引进。

目前，公司研发中心下设机械结构，光学，软件，电气、测试应用5大研发系统，技术团队近70人。同时SEMISHARE与(浙江大学、北京大学)等科研机构保持紧密的技术合作，通过产学研的互动结合机制，全面提升SEMISHARE在行业的技术研发能力和创新能力。

经过11年的研发沉淀，SEMISHARE拥有市场上最全面的探针台产品线。以自主创新技术为驱动，不断推动产品升级迭代，持续研发推出旗下两大测试测量系列产品，并涵盖手动、半自动、全自动、高低温、真空、磁场、光电等同步全球先进测试技术的晶圆探针台与激光面板修复设备，为半导体产业各大主流领域厂商、高校实验室与科研研究所提供精准、高效、可靠的测试测量设备与技术解决方案。

“欲求其上，必求上上。”SEMISHARE通过标准化控制与技能知识等体系程序管理，对公司研发，设计，工艺，制造，质量控制等过程获得最佳做法进行识别，形成文件，定期评审确认，并进行有效应用和保护，从而改进和提升公司研发，设计，工艺，制造，质量控制等诸方面的水平，达到最佳的过程效率，产品质量，成本和交期的绩效。

SEMISHARE不断整合资源围绕以技术研发、产品开发、智能制造、市场服务等多方面进行精细化运营管理提升，持续建立SEMISHARE在未来市场的核心优势。

无论是科研院校、研究所、芯片设计公司、晶圆厂、封测厂、面板厂等客户，SEMISHARE都能灵活根据客户实际需求，提供最为匹配的定制化的开发解决方案。

SEMISHARE的产品及解决方案已成功服务、应用于超过1000家以上半导体企业或机构。涵盖科研院校、研究所、芯片设计公司、晶圆厂、封测厂、面板厂、等领域的世界500强企业及国内知名企业。其中国内半导体100强研发机构中80%是SEMISHARE的战略客户。

SEMISHARE先后在深圳、香港、北京、上海、西安等城市设立了销售服务网络，逐步打造中国本土化企业的服务优势，以此快速响应客户需求并提供从端到端的营销服务。

同时SEMISHARE在美国，英国，德国，希腊，澳大利亚，新加坡等国家取得了良好的市场业绩，且市场口碑和品牌影响力正在逐年攀升。我们凭借优越的产品性能赢得了众多客户的信赖，并和全球多家知名的科研院校建立了稳定的市场合作关系。

面对全球半导体产业链调整，危机与转机并存。由于探针台技术门槛高，研发周期长且投入成本大，全球高端探针台市场仍主要被日韩等国所占据的现状。借助机械探针台领域多年的技术经验，SEMISHARE早在2016年就展开了对全自动晶圆探针台项目的研发。

SEMISHARE先后在2019年、2020年接受了投资机构的A、B轮融资，并逐步开始布局工业级晶圆探针台领域市场。于2021年3月正式在国内推出首款晶圆级全自动A12探针台，A12是一款12寸(兼容8寸)的高性能晶圆测试探针台，设备可与不同类型的ATE测试机组合使用，通过让探针卡与晶圆之间精准接触，实现晶圆级测试，该设备操作简单并具有良好的机械稳定性。

创新性的A12探针台在晶圆自动上下片装载输送、微米级全闭环运动控制、Wafer 自动精准对针、视觉自动精确校准、高速反馈通信、数据信息处理等技术方面作出了全新升级改进，该设备提供一种全自动晶圆级针测技术( 发明专利：201910551106.3)，是一款向下兼容处理12"/8"标准晶圆的WAT/CP测试设备，能为不同客户提供一个经济且稳定优异的晶圆测试方案，满足晶圆厂、封测厂等不同客户的测试需求。

至今，中国已成为了集成电路最大的进口者，年进口额超过石油达2万亿人民币。但国内自主率芯片却不到20%，而且国产设备参与生产制造过程也仅有10%。芯片是现代电子与信息技术的核心，关系到国家竞争力和信息安全。缺芯少魂却一直是我国科技产业发展所面临的困境。

SEMISHARE从创立之初，就已经将“中国芯 腾飞梦-助力中国制造自主领先的芯片，推动全球半导体行业的整体发展。”作为使命，根植于SEMISHARE企业的DNA，坚持自主技术的研发创新，旨在促进半导体测试设备国产化的发展。

2021年7月28-30日，SEMISHARE将联合半导体行业温度管理领域的专家ERS共同参加第四届深圳国际半导体展览会SemiExpo，深圳会展中心(福田区)，展位号:1号馆-A056。欢迎行业同仁前来切磋探讨，携手发展。