基于微处理的氧气变送器在半导体生产车间的应用

近年来，随着电子工业的快速发展，电子气体在半导体行业中的地位日益突出。半导体工业中使用的气体统称为电子气体。在半导体生产过程中，从芯片生长到最终器件封装，几乎每一步每一个环节都离不开电子气。电子气的成本占ic材料总成本的5％～6％。电子气的纯度对芯片质量有很大影响。

电子气体按种类可分为纯气体、高纯气体和半导体特种气体。半导体专用气体按纯度等级和应用场合可分为电子级、LSI（大规模集成电路）级、VLSI（超大规模集成电路）级和ULSI（超大规模集成电路）级。

其中，高纯气体多用于超大规模集成电路和分离器件、光电子等高科技领域，包括氧、氮、氢、氦、氩等。特殊气体主要用于外延、掺杂和刻蚀工艺。这种电子气体主要分为氢化物、氟化物和氟碳化合物。

以氮气为例，氮气用于清洗手套箱或半导体室，以确保环境的纯度。因为氮气比空气重，会把空气推出环境，从而形成缺氧状态。这有利于半导体制造，因为它可以确保环境无菌，防止一些材料与氧气相互作用。但是，如果在供氮过程中发生泄漏，空气中的氧气会减少，这种情况下，工人会因缺氧而有窒息的危险。

而且大部分“保护气体”无色无味，员工分不清是否有泄漏。因此，半导体生产车间必须安装氧气监测仪来检测氧气含量，当氮气或任何其他气体泄漏到工厂环境中时，氧气监测仪可以及时发出警报，可以使用氧气变送器或者微量氧分析仪来监测氧浓度。

美国Southland 氧气变送器OMD－150，基于微处理的氧气变送器，该氧气变送器能够根据具体的应用需求配置成微量氧或者常量氧检测。另外还有微量氧分析仪OMD507，采用具有世界先进水平的燃料电池氧气传感器，电路设计上采用了智能微控制技术准确度高、稳定性好，使用寿命长，功耗低，体积小巧、结构简单，使用和维护简便。

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