SJ6000激光干涉仪的性能特点及应用范围

SJ6000激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，其寿命可达50000小时；采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高速干涉信号采集、调理及细分技术，可实现最高4m／s的测量速度，以及纳米级的分辨率；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；采用高性能计算机控制系统及软件技术，支持中文、英文和俄文语言，友好的人机界面、向导式的操作流程、简洁化的记录管理。

SJ6000激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、最高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。

在很多人的印象中，激光干涉仪主要用于校准机床精度，其实激光干涉仪可以标定数字水准仪的精度。

以往标定数字水准仪的精度采用的是用野外观测的方法，即通过往返闭合差、高差闭合差或与己知高程点的成果进行比较来评定仪器的精度。这种方法野外工作量大，精度受到外界和观测者以及已知点成果精度等的影啊不能较客观地评定仪器本身的精度，也不适合于对仪器的检测。而使用激光干涉仪与一个标尺，可以达到大于3um的测量精度：将条码尺置于竖直导轨上，在其尺底端安置激光干涉仪的反射棱镜用45直角棱镜将激光束转向。水准尺的上下移动经过转向后，将其位移量直接反映到激光干涉仪上，从而实现对数字水准仪的标定。

责任编辑：gt