Resonant发布PMTx扩展服务，满足TC-SAW滤波器制造需求

据麦姆斯咨询报道，Resonant Inc.（纳斯达克股票代码：RESN）是一家致力于改变用于移动手持设备和无线设备的射频前端（RFFE）设计和传输方式的领先厂商。该公司于近日发布了其过程监控工具PMTx的扩展服务，使PMTx能够对TC-SAW（温度补偿型表面声波滤波器）的制造工艺进行建模并测量，包括采用厚二氧化硅（SiO2）与键合晶圆（Bonded Wafer）的滤波器技术。

PMTx是一项ISN服务，能够精确地监控和改善SAW的制造工艺，以及目前更复杂且更具挑战性的制造技术——TC-SAW晶圆技术。将TC-SAW工艺用于制造滤波器，可使其在预期器件工作温度范围内表现更稳定。利用ISN服务，代工厂可提升良率、提高利润率并且加速技术开发。PMTx利用电子模型能够更有效地监控制造过程，与传统成像技术（如FIB-SEM和TEM）相比，PMTx具有显著的优势——速度更快、成本更低。采用PMTx的客户输入其目标尺寸，PMTx可根据目标测量实际生产尺寸，同时允许客户利用测量结果进行工艺调整。

PMTx界面示意图

“扩展后的PMTx意义重大，这是由于它能使PMTx监控包括键合晶圆在内的TC-SAW制造工艺，目前市场趋势正迅速从仍占据主导地位的SAW制造工艺向键合晶圆过渡。” Resonant董事长兼首席执行官George B. Holmes表示，“在这个快速增长的市场中，竞争非常激烈，因此任何成本效率的提升都很重要。我们的代工厂客户对TC-SAW的性能要求越来越高，因此我们坚信，我司现在有潜力获得新评估许可证和/或客户。事实上，我们预计在2020年第四季度将有客户签署PMTx TC-SAW的评估许可证。”

PMTx性能验证示例

与FIB-SEM相比，PMTx的优势分析：

关于Resonant

Resonant通过其无限综合网络（ISN）软件平台以及充分拥有专利的产品组合，提供相应的解决方案，致力于打破传统RFFE供应链，从而改变RFFE的市场格局。在严重受限于有限的设计师、工具和能力的市场中，Resonant通过不断提高设计效率、缩短产品上市时间并降低单位成本来解决上述关键问题。客户能够通过Resonant的创新性功能设计顶尖的滤波器和模块，同时通过其无晶圆厂（fabless）生态系统充分利用多样化供应链带来的额外稳定性。客户与Resonant合作，可提高当前移动设备的连接性，同时为新兴的5G应用需求做好准备。

关于Resonant的ISN技术

Resonant可针对难度较大的频段、模块和其它复杂的RFFE需求新建设计，与传统方法相比，他们能够以更低的成本和更短的时间来完成制造。ISN是一套专有的数学方法、软件设计工具和网络综合技术，因而能够在数量极大的潜在设计解决方案中进行考量，并定期吸收更新Resonant的专有技术，然后，可迅速向Resonant合作代工厂的客户交付设计模型。这些经过改进的滤波器解决方案仍可使用现有的制造方法：声表面波滤波器（SAW）或带有温度补偿的声表面波滤波器（TC-SAW），而且其性能也可达到采用较高成本方法（例如BAW）滤波器一样的水准。Resonant的解决方案具有出色的可预测性，仅需50%的晶圆制造层数便可实现所需产品性能。此外，由于Resonant采用的是基础模型，且以“晶圆代工厂语言”描述基本材料特性和尺寸，因此可与晶圆代工厂及其客户的产品无缝集成。

责任编辑：lq