高速响应的热导式气体传感器 MTCS2601用于二元气体配气过程中

配气系统装置是将两种或两种以上气体按一定比例进行配比混合，输出设定浓度气体的仪器，多应用与在环境与健康监测以及科研、教学、测量等机构中。随着科学技术的发展，人们对配气仪表的要求越来越高，目前市场上常用的配气仪表是三通电磁阀控制型。

三通电磁阀控制的配气系统主要是利用单片机根据所需气体的配比要求，控制连接两路气体的高速三通电磁阀的通断，从而调节每路气体的采样量，最终获得设定浓度的气体。

电磁阀式气体分配器的优点是适用范围广、操作简单、价格相对低廉。常规气体可以直接使用，无需特殊设置或转换。对于要准备的气体类型和浓度，出厂前不需要调整仪器。但只能用于配比两种气体，配气精度低（1％以上）。

对于半导体和电子工业中使用的特殊气体，为了保持气体的稳定性或便于使用，通常使用二元或多元气体混合物，并且需要气体分配系统装置。常规配气方式，如标准配气，现有方式多为单瓶混气。根据原料气压力和气体性质选择配气顺序，例如原料瓶A和目标气瓶B通过管道C连通，目标气瓶放置在精密电子秤D上，这是常规的气体分配装置。这种配气装置的缺点是管道与接头之间产生应力，严重影响称重精度，导致配比不准确；一次只能分配一瓶气体，效率很低。特种气体消耗量大，纯度高，对浓度偏差要求高，因此这种方法不适合特种气体的配气。

为了解决上述出现的配气精度问题，有相关领域的生产商开发出了带有精密监测元件的配气系统装置。了解到配气系统中使用的气体浓度检测元件是热导式气体传感器，它可以计控制各路气体的浓度，以实现不同种类和浓度气体的配制。一款热导式气体传感器，可用于配气系统中，瑞士Neroxis 热导式气体传感器 － MTCS2601，该传感器由基于 MEMS 技术的 4 个 Ni－Pt 电阻组成的微机械的热电导率传感器，适用于恶劣环境下初级压力控制，需要功耗和尺寸的限制，或者是气体泄漏或者水分，或者侵入。另外硅晶片上有加热电阻，并且有优异的温度补偿。