ASML推出第一代HMI多光束检测机HMI，5nm晶圆产能提高600%

5月29日消息，提到荷兰ASML公司，大家都知道他们是全球唯一的EUV光刻机供应商，7nm及以下的工艺生产都要靠他们的设备。不过ASML不只是光刻机厉害，今天他们宣布了另外一个新产品——第一代HMI多光束检测机HMI eScan1000，适用于5nm及更先进工艺，使得产能大涨600%。

随着制程工艺不断提升，晶圆的制造也越来越复杂，这也会导致晶圆中的错误更多，HMI eScan1000就是一套基于HMI多光束技术的检测系统，内部也有复杂的光电子系统，能够产生、控制多个电子束，然后根据反射回来的电子束成像来分析晶圆质量，并有高速运行的平台以控制测试的晶圆数量，还要有计算系统处理电子束的数据。

简单来说，ASML研发的这个HMI eScan1000机器就是一台验证先进工艺生产出来的晶圆质量的系统，工艺越先进，检测系统就越重要，它的检测精度、吞吐量决定了生产的效率。

ASML的HMI eScan1000的突破之处在于能够同时产生、控制九道电子束，所以产能提升了600%，可以大大减少晶圆质量分析所用的时间。

作为制造芯片的核心器件，光刻机自然是重中之重，而一款性能出众的光刻机也是制造高性能芯片的必要条件，而在光刻机领域尤其是高端光刻机，目前基本上被ASML所垄断，而ASML也提供给包括英特尔、台积电以及三星等晶圆代工厂提供最新的EUV光刻机。目前随着技术的进步，越来越多的晶圆代工厂商开始研发和量产5nm工艺，如今ASML宣布将会采用全新的技术，从而让5nm晶圆的产品成倍提升。

在业界，ASML垄断了7nm及以下芯片制造的设备供应，全世界的芯片业巨头、代工厂商都只能购买这家公司的设备，才能给全世界带来最顶级的芯片产品。而伴随着制程工艺的持续提升，晶圆制造的过程也愈发复杂，生产过程中的错误也变得越来也多，而ASML刚刚发布的HMI eScan1000就是一套基于HMI多光束技术的高科技监测系统。

据了解，这套设备的内部拥有极其复杂的光电子系统，自身就能批量产生和控制电子束，然后根据反射回来得电子束成像来分析生产中得景园质量。另外，它还高速运行的平台和计算系统，可以精确地控制与处理测试晶圆的数量、电子束的数据。

总得来说，ASML刚刚发布的这台HMI eScan1000就是一台顶级晶圆质量检测系统。在芯片领域中，制造工艺越先进，对检测系统的需求就越高，它的精度和吞吐量都会直接影响最终的生产效率。

值得一提的是，HMI eScan1000较以往取得了明显的突破：它能同时产生和控制九道电子光束，可以直接提升产能达600%，大大减少了晶圆质量分析所耗费的时间成本。目前HMI eScan1000可以用于5nm及以下先进工艺的晶圆测试，已经交付给客户进行测试验证，未来ASML还会推出光束更多的测试设备以满足客户对先进工艺的要求。

责任编辑：gt