STIL司逖光谱共焦传感器

司逖测量技术（上海）有限公司

司逖测量技术（上海）有限公司是法国STIL公司在中国的销售公司。STIL为全球各行企业提供高性能的光谱共焦位移传感器（Chromatic Confocal Sensor）已经超过20年。为应对公司在中国市场快速增长的需求，2016年STIL成立了中国销售公司。

作为光谱共焦传感器的发明者及全球领先者，法国STIL公司基于这一创新的技术开发了两个系列的产品：从0.1μm到100mm测量行程的点光谱共焦传感器、从1.8mm到45mm线长的不同测量行程的线光谱共焦传感器。

这些高分辨率的非接触式传感器广泛运用于各种不同要求的高精密测量场合。应用行业范围：玻璃、医疗、电子、半导体、汽车、航空航天、制表业…等，任何材料的物体，如金属、玻璃、陶瓷、半导体、塑料、织物等，STIL光谱共焦传感器都可轻松测量，而且对被测物体表面的颜色和光洁度也没有任何特殊要求，无论什么颜色，物体表面是漫反射或者高光面，乃至于镜面，STIL光谱共焦传感器都可以轻松测量。

Telemecanique传感器

1、点传感器CCS Prima、CCS Prima+

优势：

属于STIL光谱共焦传感器的点传感器。点传感器测量点，位于光轴上的点的高度（Z坐标）。也可测量透明样品的厚度。包含控制器、光学笔和光纤线。光学笔可以在同一控制器上互换。

l距离和厚度模式

l高精度和高分辨率

l兼容所有CL-MG，OP，ENDO系列光学笔

l最多20支不同的光学笔，可在同一控制器上互换

l建议用于OEM用户和工业应用

lUSB和RS232 / RS422数字输出（SPS ALPHA和DUO：以太网）

l2个0V-10V的模拟输出

l与3个外部数字编码器同步

l长寿命光源

l 高级功能：自动LED，第一高峰，双频，存储最后值，时间平均...

l 同步：主或从

l配备多支光学笔

l测量范围广（100µm - 20µm）

l光学笔符合特定标准时有多种选择

参数：

技术特点

CCS PRIMA是STIL光谱共焦传感器产品体系中一款高分辨率“点”式传感器。它基于光谱共焦成像/彩色光谱共焦成像（Chromatic Confocal Imaging, 简称CCI）原理，此原理基于2个原则：

1. 光谱共焦成像

2. 光轴的彩色编码，故光谱共焦传感器又可叫做彩色共焦传感器

光谱共焦装置是一种光学装置，光学系统在物体的表面上产生点光源S的图像S’。反向散射光由相同的光学系统收集，该光学系统在针孔S’’处成像。针孔被置于光电探测器的前面，它过滤可以到达光电探测器的光线，因此它也被称为“空间滤波器”。共焦装置的特点是具有特殊的信噪比。按照CCI原理，光学系统是彩色光学头，光电探测器是一个光谱仪。

光轴的彩色编码意味着光学系统具有轴向色差：每个波长聚焦在沿该轴的不同点上。现在假设一个样本存在于色谱编码范围内，这样波长λ0就会聚焦在它的表面上。当反射（或后向散射）光束到达针孔平面时，波长的光线会聚焦在针孔上，以便它们可以穿过针孔并到达光谱仪的敏感区域。其他波长成像为大点，因此它们被针孔阻挡。该光谱仪通过识别波长λ0来“解读”样品位置。

光谱仪信号与已收集光的光谱再分配相对应。它呈现一个光谱峰值。当物体在测量范围内位移时，光谱仪上的光谱峰值随之发生变化。

2、MPLS-DM 线扫描光谱共焦传感器

优势：

l 市场上第一台“线”光谱共聚焦传感器。

l 投射到样品表面为一条线，由180个离散点组成，每点对应一条独立测量通道。

l 最大线率是2000 lines/秒。

l高工作量（360000点/秒）

l由千兆以太网进行数据传输

l高分辨率，高精度

l可测量任何材料

l对外部环境光线不敏感

l兼容所有光学头

l 同步方式：主和从

l借助DLL工具，易于管理

参数：

技术特点：

有两束光纤，光学头连接到光电控制器。

各种光学头由不同测量范围、轴向分辨率和景深来定义。

连接到MPLS-DM的光学头可独立进行轮廓测量，无需任何外部转换。

3D测量可以通过传输表或生产线获得。

MPLS-DM提供每秒360 000个测量点的非常高的测量速率，每秒2000行。每条线由180个离散点组成。

此性能是高水平技术集成，结合STIL经验知识和先进制造工艺优化的结果。

MPLS-DM传感器提供即时测量配置文件，每个配置文件包括180个同时采集的点。