国产MEMS传感器芯片性能指标精度达到0.1℃，4月初可大量投放市场

高性能耳温枪、额温枪等非接触测温工具是当前对大规模人员进行发热筛查的主要工具之一，而其核心部件MEMS红外温度传感器长期主要依赖进口。近日，中国兵器工业集团电子院华东光电集成器件研究所通过技术攻关，已完成传感器芯片各类单项试验，性能指标精度达到0.1℃，抗干扰能力优于目前市场主流产品。

针对疫情防控、复工复产对高性能耳温枪和额温枪等非接触人体测温工具MEMS红外传感器的迫切需求以及用户上百万颗的订货需求，中国兵器工业集团所属东光电集成器件研究所自1月底紧急调整产品研制计划，提前复工复产，组建党员突击队和技术攻关小组，24小时不间断轮班开展研制工作，目前已完成传感器芯片各类单项试验，预计在3月底完成芯片样品研制。同时华东光电集成器件研究所还采购全自动化组封装关键设备、补充芯片制造的关键设备，推动传感器芯片制造、组封装的国产化，月产能将从目前的2万颗提升到100万颗以上，4月初可大量投放市场。

作为国家发改委MEMS国家地方联合工程实验室和兵器工业集团微系统制造技术创新中心，华东光电集成器件研究所具有MEMS传感器芯片设计、制造、封装、测试等完整的科研能力，通过技术创新取得MEMS传感器多项技术成果，下一步将开发相关测温产品，满足疫情防控、复工复产等高精度人体测温需要。

上海工研院自主研发红外温度传感器产品助力抗疫

随着新型肺炎疫情的蔓延，红外温度传感器作为红外体温计的核心器件也面临巨大的需求。位于嘉定区的上海新微技术研发中心有限公司（简称“工研院”）研发部拥有红外温度传感器开发的完整技术能力和丰富经验，在国内最先打破国外垄断，自主研发的热电堆红外温度传感器产品，并在自己的国内首条8寸MEMS生产线上实现规模生产，成为替代进口的首选。

在市区两级政府的大力支持下，8寸线于2月2日正式开工，为红外体温计生产企业提供大量传感器产品。据介绍，生产线当前产能是6万颗/天，全面复工后可达13万颗/天，将为国内红外体温计生产企业提供充足的传感器产品。截至目前，超过百万颗红外温度传感器芯片已经从8寸线上下线，奔赴下游生产商。

为进一步提高产能，工研院传感器团队3月初攻克了技术难关，使温度传感器芯片的月产能从320万颗提升到640万颗。截至发稿，该团队已提交约400万颗温度传感器芯片。

红外测温仪产量现状

国内测温仪的红外传感器主要来自德国海曼、瑞士泰科、比利时迈来芯，以及中国***的众智和上海烨映等公司，其中***众智的供货量是最大的。周先生表示，此前一个红外传感器售价也就几元钱，现在能被炒到70到90元。芯片原来也是几元钱一个，现在也被炒到50到60元，加上其他原材料的涨价，出厂成本价几乎将近200元，“这前提还是你能拿到货”。杜涵表示，传感器属于芯片行业，从原材料、工艺、封装到最后的质量把控都有较高要求，国内厂商生产的产品稳定性、一致性和精准度与国外厂商相比还是有差距的。

杜涵表示，现在国内大部分家庭还在用水银体温计，而在欧美、日本，博朗、欧姆龙等品牌的额温计、耳温计已经比较普及，这次疫情也是对公众起到了一定的教育作用。根据中商产业研究院近日发布的《2020年中国测温仪行业市场前景及投资机会研究报告》，预计2020年行业市场规模将超26亿元，红外测温仪产量明显提升，2020年预计可达到65万台。

不少测温仪制造商也希望借助此次疫情，进一步提升产品质量。九安医疗董事长刘毅近日就表示，“从技术上看，做出一台额温计不算高门槛，但要做出一台优秀额温计门槛其实蛮高的。门槛主要来自两方面，一是如何提升用户体验；二是如何累计大量临床数据不断优化测温准确度。”

杜涵称，测温仪的智能化、物联网化也会成为行业趋势。传统体温计只能让用户获得一个数据，后续解读依靠经验或者医生，而转变成智能硬件的测温仪可以在测量结束后对数据进行分析，甚至可以连线医生进行远程问诊和后续健康追踪，成为智慧医疗重要一环。

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