OLED蒸镀机有多难造，如今我国已经成功实现量产

（文章来源：中关村在线）

我们都知道，芯片领域光刻机和OLED面板领域的蒸镀机一直是中国的痛，因为纵观中国的半导体领域，从设备生产商到晶圆代工厂商，与西方主流水准差距都不会很大，甚至像中微的蚀刻机达到了全球一流水准。但是光刻机中国目前才突破90nm，差距非常大，而蒸镀机则还是0，直到合肥莱德成功量产蒸镀机。

还有一个就是蒸镀机，中国一直以来都是面板需求大国，从京东方成功突破日韩面板企业垄断之后，为中国每年节省了数千亿的进口费用。但是中国虽然成功掌握了面板制造技术，但是在新一代的OLED面板上和三星还有差距，其中之一的原因就是中国无法获取到足够的高端蒸镀机。OLED最早是发端于学术研究上电致发光有机材料的发现，比较公认的是柯达公司的邓青云发明了第一个OLED器件并申请了专利。

通俗地说，在生产OLED屏的过程中，要通过真空蒸镀机将OLED有机发光材料精准、均匀、可控地蒸镀到玻璃基板上，除了发光材料，金属电极等也是这样蒸上去的，具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点。

蒸镀机及蒸镀工艺是OLED屏生产过程中难度最高的环节之一，蒸镀机为什么这么难造，要知道，这个设备可是一个庞然大物，该设备的真空生产线有 100 米长，尺寸相当于大型电视屏幕的玻璃面板透过机械臂在几个厂间之间移动，有机材料的蒸发制程可以将红、绿、蓝像素点储存在屏幕表面。可以说，拥有了高性能的真空蒸镀机才算是真正拿到了OLED屏生产的入场券。

掌握了高端蒸镀机的Canon Tokki经过几十年的发展，也才343名员工。一台设备才卖1.14亿美元。一年目前仅能生产出七台，可见企业规模有多少，收入和利润有多低。但是它却站在了OLED产业链的顶层，主宰了整个OLED产业链的发展，任何OLED都受限于它。尤其对于中国而言，蒸镀机可以说是一项限制中国OLED产业发展的设备，2019年中国OLED市场需求达2.89亿片。到2022年OLED市场需求达将要达到4.5亿片，这都需要先进的蒸镀机提供支持。

但是Canon Tokki为了感谢三星的支持，所以最开始的几年，年产量3~4台时，全部供货给三星，所以三星在OLED占的先机，抢占95%的市场。直到2017年，Canon Tokki年产量达7台，LGD和京东方才各得一台，这条设备也是京东方量产OLED屏的硬件条件。也正是得益于拥有最顶级的蒸镀机设备，以及近20年的技术积累，三星在OLED面板良品率已经将近80%，在屏幕素质的调教优化上更是一骑绝尘。

而且因为得益于两者的友好关系，三星关于OLED最前沿的技术都可以交给Canon Tokki来帮助其实现，从而让三星在OLED上可以享受最为前沿的技术，三星和Canon Tokki已经构建了一个完整的OLED生态链。比如最近，三星与Canon Tokki合作为QD-OLED生产建立试验性质的8代生产线。

可以说，正是Canon Tokki帮助三星坐稳了OLE的市场龙头老大的位置。国内面板厂商对于高端蒸镀机的需求一直得不到满足，而且价格又高，交付周期又长，服务还得不到保障，所以我们便想自研高端蒸镀机。日前，合肥合巢经开区合肥莱德设备技术有限公司已成功研制出从事OLED生产所必需的核心设备真空蒸镀机，填补了国内在这个领域的空白。

之所以取得这样的成绩，是因为中国借鉴了ASML崛起的经验，OLED面板生产链上下游通力合作，集结了OLED行业内面板厂、设备厂和材料厂等多位资深专家进行攻关，终于打破国外高端蒸镀机的垄断，研制出了性价比高的OLED真空蒸镀机，一旦国内有能力研发出OLED蒸镀设备，国外也开始降价。

除了合肥莱德，还有其他几家目前也在向蒸镀设备市场进发，分别是韩国的SUNIC、SFA，这两家是三星从Tokki的设备上copy出来的企业，国内也有企业采购了，不过都是试验线设备而且差距很大。还有一家是日本的ULVAC，这家的技术还不稳定，错误率比较高。不管怎么样，从无到有都要付出巨大的努力，也期待中国生产的蒸镀机可以生产，向全球发展。

（责任编辑：fqj）