高通量，高产量处理系统，SEZ销售的第一台Spin-Processor 4200
PHOENIX -SEZ集团宣布已将其Spin-Processor 4200系统出售给美国一家大型半导体公司制造商，它拒绝透露。这是SEZ第一次销售4200，这是一种高通量，高产量，多室旋转处理系统。
SEZ最初在6月交付了Spin-Processor 4200进行评估。客户对设备进行了六个月的测试，并确定其符合预期。该设备将用于200毫米生产中的专有氮化物和氧化物蚀刻。
“我们开发了4200专门用于高通量应用，使我们能够与批量系统竞争。”首席运营官Wolfgang Krammer解释道。 SEZ America Inc.，总部位于瑞士苏黎世的美国子公司SEZ Holding AG。“这种高效可靠的清洁工具提供更好的蚀刻均匀性和选择性，同时满足各种晶圆工艺的生产量应用，证明SEZ为市场提供了批量系统的卓越替代品。“
Spin-Processor 4200为包括聚合物去除在内的各种工艺应用提供了经济高效的产量/占地面积和投资/吞吐量比，稀释HF蚀刻，高选择性氧化物去除和非选择性氧化物去除。快速安装，低化学和去离子水消耗和处理成本也是4200的特点。
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