晶圆拣选测试(Wafer Sort 或 CP 测试)是半导体制造中的关键环节,用于在封装前筛选出合格的晶粒(Die)。以下是具体过程的分步说明:
1. 准备工作
- 晶圆清洁:制造完成的晶圆需去除表面污染物,避免影响电性接触。
- 测试程序开发:编写测试向量(Test Pattern),模拟芯片工作条件,定义需检测的参数(如电压、频率、功耗等)。
- 测试硬件配置:
- 探针卡(Probe Card):根据芯片焊盘(Pad)设计定制,探针需精确对准每个Die的触点。
- 探针台(Probe Station):固定晶圆并控制探针卡移动,确保与Die的Pad稳定接触。
- 自动测试设备(ATE):负责施加电信号并采集响应数据。
2. 测试环境设置
- 晶圆装载:将晶圆固定在探针台上,校准位置使探针与第一个Die对准。
- 温度与电压控制:根据需求设置测试环境(如高温/低温测试),模拟实际应用场景。
3. 测试执行
- 电性测试:
- ATE通过探针卡向Die输入测试信号,检测输出是否符合预期。
- 测试内容包括功能测试(逻辑正确性)和参数测试(漏电流、响应速度等)。
- 多条件验证:部分Die需在不同电压、频率或温度下重复测试,确保稳定性。
- 冗余修复(可选):针对存储器等芯片,可能通过激光熔断或电编程替换缺陷单元。
4. 数据处理与分析
- 结果记录:记录每个Die的测试数据(合格/失效、性能参数等)。
- 生成晶圆图(Wafer Map):用颜色或符号标记各Die状态,直观展示缺陷分布(如边缘Die失效可能因工艺不均匀导致)。
- 良率分析:统计合格率,识别制造问题(如光刻或蚀刻缺陷),反馈至前道工序改进。
5. 标记与分类
- 失效标记:不合格Die通过墨点或电子标识标注,便于后续剔除。
- 性能分级:根据测试结果将Die分类(如高频/低频芯片),用于不同产品等级。
6. 后续处理
- 合格Die封装:通过测试的晶粒进入封装流程,成为独立芯片。
- 废弃不良品:标记的失效Die在切割后丢弃,避免资源浪费。
- 数据反馈:测试结果用于优化工艺参数,提升整体良率。
关键作用
- 成本控制:早期筛除缺陷Die,节省封装和测试成本。
- 质量保障:确保出厂芯片符合设计规格,提升可靠性。
- 工艺优化:通过缺陷分布分析,定位制造环节问题。
晶圆拣选测试结合精密硬件与复杂算法,是连接芯片制造与封装的核心质量控制步骤。
晶圆拣选测试的具体过程和核心要点
在半导体制造流程中,晶圆拣选测试(Wafer Sort)堪称芯片从“原材料”到“成品”的关键质控节点。作为集成电路制造中承上启下的核心环节,其通过精密的电学测试,为每一颗芯片颁发“质量合格证”,同时为工艺优化提供数据支撑。
2025-04-30 15:48:27
晶圆拣选测试类型
硅晶圆拣选测试作为半导体制造流程中的关键质量控制环节,旨在通过系统性电气检测筛选出功能异常的芯片。该测试体系主要包含直流特性分析、输出驱动能力验证和功能逻辑验证三大核心模块,各模块依据器件物理特性与功能需求设计了差异化的检测方法与技术路径。
2025-06-11 09:49:44
晶圆封装测试什么意思?
晶圆封装测试什么意思? 晶圆封装测试是指对半导体芯片(晶圆)进行封装组装后,进行电性能测试和可靠性测试的过程。晶圆封装测试是半导体芯片制造过程中非常重要的一步,它可以保证芯片质量,并确保生产出的芯片
2023-08-24 10:42:07
晶圆测试设备的指尖—探针卡
晶圆测试的方式主要是通过测试机和探针台的联动,在测试过程中,测试机台并不能直接对待测晶圆进行量测,而是透过探针卡(Probe Card)中的探针(Probe)与晶圆上的焊垫(Pad)或凸块(Bump)接触而构成电性接触
2023-05-11 14:35:14
晶圆测试探针台的组成以及晶圆测试的重要性和要求
就像其他较大的电子元件一样,半导体在制造过程中也经过大量测试。 这些检查之一是#晶圆测试#,也称为电路探测(CP)或电子管芯分类(EDS)。这是一种将特殊测试图案施加到半导体晶圆上各个集成电路
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晶圆针测制程介绍
不良品,则点上一点红墨水,作为识别之用。除此之外,另一个目的是测试产品的良率,依良率的高低来判断晶圆制造的过程是否有误。良品率高时表示晶圆制造过程一切正常, 若良品率过低,表示在晶圆制造的过程中,有
advbj
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半导体晶圆测试的探针卡与LTCC/HTCC的联系
晶圆测试的方式主要是通过测试机和探针台的联动,在测试过程中,测试机台并不能直接对待测晶圆进行量测,而是透过探针卡(Probe Card)中的探针(Probe)与晶圆上的焊垫(Pad)或凸块(Bump)接触而构成电性接触。
2023-05-08 10:36:02
晶圆制造工艺的流程是什么样的?
+ 4HNO3 + 6 HF® 3H2SiF6 +4 NO + 8H2O 抛光:机械研磨、化学作用使表面平坦,移除晶圆表面的缺陷八、晶圆测试主要分三类:功能测试、性能测试、抗老化测试。具体有如:接触测试
chiaho168
2019-09-17 09:05:06
一文解析半导体晶圆测试系统
晶圆测试的对象是晶圆,而晶圆由许多芯片组成,测试的目的便是检验这些芯片的特性和品质。为此,晶圆测试需要连接测试机和芯片,并向芯片施加电流和信号。
2024-04-23 16:56:51
晶圆封装有哪些优缺点?
图为一种典型的晶圆级封装结构示意图。晶圆上的器件通过晶圆键合一次完成封装,故而可以有效减小封装过程中对器件造成的损坏。 图1 晶圆级封装工艺过程示意图 1 晶圆封装的优点 1)封装加工
一只耳朵怪
2021-02-23 16:35:18
浅谈晶圆探针测试的目的 晶圆探针测试主要设备
晶圆探针测试也被称为中间测试(中测),是集成电路生产中的重要一环。晶圆探针测试的目的就是确保在芯片封装前,尽可能地把坏的芯片筛选出来以节约封装费用。
2023-01-04 16:11:50
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本文主要介绍功率器件晶圆测试及封装成品测试。 晶圆测试(CP) 如图所示为典型的碳化硅晶圆和分立器件电学测试的系统,主要由三部分组成,左边为电学检测探针台阿波罗
2025-01-14 09:29:13
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thc8888
2020-07-10 19:52:04
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半导体晶圆的厚度测量在现代科技领域具有重要地位。在晶圆制造完成后,晶圆测试是评估制造过程的关键环节,其结果直接反映了晶圆的质量。这个过程中,每个芯片的电性能和电路机能都受到了严格的检验。
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lines,saw lines,streets,avenues):在晶圆上用来分隔不同芯片之间的街区。街区通常是空白的,但有些公司在街区内放置对准靶,或测试的结构。(3)工程试验芯片
advbj
2020-02-18 13:21:38
