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半导体光电位置传感器PSD( Position Sensitive Device) 是一种基于横向光电效应的光电位
置敏感探测器。它是一种新型的半导体位置敏感探测器,除了具有光电二极管阵列和CCD 定位性能外,还具有灵敏度高、分辩率高、响应速度快和电路配置简单等特点。因而逐渐被人们所重视。PSD 的发展趋势是高分辨率、高线性度、快响应速度及信号采集处理等多功能集成。PSD 可用于精密尺寸、三维空间位置和角度的测量,是近程(10m 以内) 实时测量飞行器位置和距离的极佳器件,如空中加油机等空间飞行器对接中可精确提供目标的相对位置、距离及角度姿态;空间光通信中位置误差信号的提取等。随着光电子技术和MEMS 技术的结合,集成PSD 器件系统的应用将更加广泛。
置敏感探测器。它是一种新型的半导体位置敏感探测器,除了具有光电二极管阵列和CCD 定位性能外,还具有灵敏度高、分辩率高、响应速度快和电路配置简单等特点。因而逐渐被人们所重视。PSD 的发展趋势是高分辨率、高线性度、快响应速度及信号采集处理等多功能集成。PSD 可用于精密尺寸、三维空间位置和角度的测量,是近程(10m 以内) 实时测量飞行器位置和距离的极佳器件,如空中加油机等空间飞行器对接中可精确提供目标的相对位置、距离及角度姿态;空间光通信中位置误差信号的提取等。随着光电子技术和MEMS 技术的结合,集成PSD 器件系统的应用将更加广泛。
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