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对光电位置传感器PSD 的结构、工作原理、特性进行了分析和概述; 并介绍了PSD 在二维定位测量中的应用; 最后分析了造成系统误差的主要原因。
关键词: 位置传感器; 光电器件
Abstract: The arch itectu re, p rincip le and characters of po sit ion sen sit ive detecto r are analyzed and ou t lined in the paper. The app licat ion of PSD in two2dim en sion po sit ion m easu rem en t is in t roduced. The system erro rs are also analyzed.
Key words: po sit ion sen sit ive detecto r, op toelect ron ic device
关键词: 位置传感器; 光电器件
Abstract: The arch itectu re, p rincip le and characters of po sit ion sen sit ive detecto r are analyzed and ou t lined in the paper. The app licat ion of PSD in two2dim en sion po sit ion m easu rem en t is in t roduced. The system erro rs are also analyzed.
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