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洁净室的温湿度控制设计 The design of temperature and humidity control in clean rooms
1 温湿度控制的特性以及常见问题
1.1 温湿度控制的特性
对湿空气单纯地加热或制冷过程，是含湿量保持不变的过程，即绝对湿度保持不变的过程。湿空气经过盘管加热，温度升高而相对湿度下降;相反，对冷却过程，温度下降而相对湿度相应升高，因此我们可以得出，温度和相对湿度是两个不同方向的控制量，要使温湿度同时向相同的趋势变化，则单纯靠加热/冷却过程是不能实现的。冷却去湿过程是湿空气经冷却达到饱和后继续制冷的过程，湿空气经过冷却盘管析出水滴从而降低了绝对湿度，起到降湿的作用。因而我们可以将空气处理过程分为加热、加热加湿、制冷、制冷再热和制冷加湿等5个部分，如图1所示。图1中，横坐标为含湿量，即每千克干空气所含有的水蒸汽量;纵坐标为温度。由目标状态绝对湿度线、目标温度和目标湿度线以及机器露点的危险警戒湿度
控制设计
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