HEPA和ULPA过滤器效率测试及检漏方法的相关内容概述

　　1 、 HEPA ／ ULPA 过滤器效率测试方法

　　1．1 测试方法及其特点

　　当前对 HEPA 过滤器测试方法主要有：

　　（1）DOP 法： 此法是以光度计作检测，测试用气溶胶必须是单分散 （0．31μm） 的 DOP 或其替代的 DOS 等液态物质所发生的。

　　此法灵敏度不如粒子计数法，只能用于效率 99．99 ％ （0．3μm） 及 99．999 ％ （0．3 μm） 的 HEPA 过滤器的测试。

　　（2） 粒子计数法

　　此法是以离散粒子计数器 （DPC） 作为检测仪器，测试用气溶胶可以是单分散或多分散液体或固体物质，选择范围较宽，常用多分散气溶胶，如 DOP 或其替代的 DOS 等液态物质所发生的，亦常用 SPL（ 聚苯乙烯乳胶球 ） 固体物质所发生的 0．1-0．2p，m 粒径的气溶胶。 此法灵敏度较高，目前主要用于 ULPA 过滤器其 η≥99．999 ％ （0．1-0．2μm） 的测试，当然亦可用于 HEPA 过滤器的测试。替代 DOP 法当已是趋势。

　　（3）MPPS 法

　　此法是欧盟 ENl822 标准所规定的，亦是以 DPC 作为检测仪器，测试用气溶胶要求同 （2） 。

　　其与粒子计数法的区别主要在于： 以过滤器最易穿透的粒径作为测试用粒径， HEPA ／ ULPA 纤维过滤器在某一粒径下其过滤效率会出现最低，这是因为在此粒径下扩散机理与惯性机理对过滤器所起的过滤作用，两者都达到最低，此粒径与过滤器的滤料、给结构及滤速有关，一般在 0．1-0．3μm 间，对 ULPA 过滤器常为 0．1-0．2μm ；过滤器测试时，需先测定滤料的 MPPS ：另外，其对过滤器效率的测试不是采用整体测试，而是扫描测试每一处的局部穿透率然后统计处理 （ 按 95 ％置信度 ） 得出 《 整体 ） 穿透率及 （ 整体 ） 效率。最大允许局部穿透率比整体的高 5 倍或更多，见表 1 。

　　此法用于 HEPA ／ ULPA 过滤器的测试，其灵敏度比一般粒子计数法还高，更接近实际，在测效率的同时亦解决了扫描检漏。