资料介绍
透镜是由透明物质(如玻璃、水晶等)制成的一种光学元件,广泛应用于安防、车载、数码相机、激光、光学仪器等各个领域。
曲率半径是透镜设计与制造的一个重要参数,在生产制造过程中常使用菲索型激光干涉仪通过测试干涉条纹,判定“猫眼”和共焦位置,并通过光栅尺或激光干涉(测距)仪,对位移变化记录即可获得透镜的曲率半径。
菲索型激光干涉仪测量透镜曲率半径的原理:
曲率半径等于,“猫眼”至共焦位置(或者共焦至“猫眼”位置)的位移,加上干涉仪在两个位置,根据干涉条纹测得精确位置补偿,即R(曲率半径)=Z(位移读数)+Z(猫眼位置补偿)+Z(共焦位置补偿)。
注:当球面标准镜产生的激光波前,正好汇聚于球面上时,会产生特殊类似“猫眼”的条纹,所以称这一位置为“猫眼”位置。
在实际测量过程中,传统方法使用光栅尺来记录位移变化,光栅尺的位移分辨率为0.1um,曲率半径测量精度不高。
如今越来越多透镜生产企业使用SJ6000激光干涉仪来测量位移。SJ6000激光干涉仪以氦氖激光器为光源发射出稳定频率的波长为长度基准,激光稳频精度0.05ppm;以迈克尔逊干涉原理测量位移距离,测量分辨率1nm,远远高于光栅尺分辨率。
菲索型激光干涉仪测量曲率半径过程中,SJ6000激光干涉仪反射镜安装在稳定夹具上,高度与光源圆心等高,精准记录位移数据同时降低阿贝误差,测得的曲率半径值准确度和一致性大幅提升。
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