电子发烧友App
创作
发文章
发帖 
提问 
发资料
发视频资料介绍
激光干涉仪是一种利用激光干涉原理进行测量的精密仪器。广泛应用于光学、机械、电子等各种领域的测量。其中，平行度和垂直度的测量是激光干涉仪的重要应用之一。
传统的测量方法通常采用机械测量或光学测量，但这些方法存在着精度低、误差大、易受环境影响等缺点。而激光干涉仪具有高精度、高灵敏度、非接触性等优点，能够实现平行度和垂直度的高精度测量。
激光干涉仪平行度测量原理
平行度测量是在直线度测量的基础上而扩展的应用。平行度测量由平行轴的两组直线度测量组成，参见下面平行度测量光路原理构件图，其中直线度反射镜作为共同的参考基准，在测量过程中保持原位，且不进行调整。由第1运动轴的斜度θ1中减去第2运动轴的斜度θ2，即可得出平行度＝θ1－θ2。
平行度测量配置及应用
平行度测量配置主要由SJ6000主机、短直线度镜组（或长直线度镜组）、SJ6000静态测量软件等组件构成。Z轴的平行度测量需增添可调转向镜。
激光干涉仪垂直度测量原理
垂直度的测量是直线度测量在二维方向上的延伸。垂直度测量由正交轴的两组直线度测量组成，详见下面垂直度测量光路原理构件图，其中直线度反射镜作为共同的参考基准，在测量过程中保持原位，且不进行调整；光学角尺用于至少在其中一次直线度测量中，允许调整激光束与轴的准直。垂直度误差＝光学直角尺误差－斜度θ1－斜度θ2。
垂直度测量配置及应用
垂直度测量配置主要由SJ6000主机、短直线度镜组（或长直线度镜组）、垂直度镜组（含光学直角尺）、SJ6000静态测量软件等组件构成。
总之，激光干涉仪是一种强大的测量工具，可以广泛应用于各种领域的平行度和垂直度测量工作。它的出现为各种精密制造和科学实验提供了强有力的技术支持。
下载该资料的人也在下载
下载该资料的人还在阅读
更多 >
- SJ6000激光干涉仪诊断校准运动导轨，80米直测
- SJ6000激光干涉仪测量机床精度全面解析
- 三坐标测量机&激光干涉仪：平行度测量的方法及检测工具
- 白光干涉仪(光学轮廓仪)：揭秘测量坑的形貌的利器！
- 激光干涉仪快速检测三坐标测量机垂直度 0次下载
- 激光干涉仪测量机床精度之线性测量 0次下载
- SJ6000激光干涉仪介绍 0次下载
- SJ6000激光干涉仪角度测量保证机床加工精度
- 激光干涉仪原理 9次下载
- 分离式干涉镜的激光干涉仪系统在测量线性、角度、直线度方面的优点分 28次下载
- 精密激光干涉测距系统 10次下载
- 微型激光干涉测振仪 32次下载
- 双频激光干涉仪操作手册 82次下载
- 合成光源串联光纤干涉仪及仿真研究 15次下载
- 用迈克尔逊干涉仪测激光波长 0次下载
- 激光测温之干涉测温技术知识简析 304次阅读
- 光波干涉的原理是什么？光波干涉的应用有哪些？ 347次阅读
- 激光自混合干涉技术的四大特点 508次阅读
- Optics Express：紧凑型混联干涉仪谐波游标效应增敏的高灵敏度光纤温度传感器 830次阅读
- 激光测距传感器的分类与应用 2453次阅读
- 激光传感器的应用 1767次阅读
- 白光干涉仪的故障与检修_白光干涉仪的维护 2441次阅读
- 白光干涉仪原理 9041次阅读
- 三坐标测量机在精密检测中的应用 5566次阅读
- 美国国家标准技术研究院将采用非接触式光学仪器来检测MEMS的结构 931次阅读
- 激光位移传感器的激光三角测量法原理与激光回波分析原理解析 4160次阅读
- 激光位移传感器的激光三角测量法原理和回波分析原理 1.3w次阅读
- 什么是激光位移传感器？ 1.2w次阅读
- 液晶空间光调制器的同步移相共光路干涉技术 3056次阅读
- 如何减小示波器垂直量测量偏差 2555次阅读
上传资料赚积分下载排行
本周
- 1山景DSP芯片AP8248A2数据手册
- 1.06 MB | 532次下载 | 免费
- 2RK3399完整板原理图（支持平板，盒子VR）
- 3.28 MB | 339次下载 | 免费
- 3TC358743XBG评估板参考手册
- 1.36 MB | 330次下载 | 免费
- 4DFM软件使用教程
- 0.84 MB | 295次下载 | 免费
- 5元宇宙深度解析—未来的未来-风口还是泡沫
- 6.40 MB | 227次下载 | 免费
- 6迪文DGUS开发指南
- 31.67 MB | 194次下载 | 免费
- 7元宇宙底层硬件系列报告
- 13.42 MB | 182次下载 | 免费
- 8FP5207XR-G1中文应用手册
- 1.09 MB | 178次下载 | 免费
本月
- 1OrCAD10.5下载OrCAD10.5中文版软件
- 0.00 MB | 234315次下载 | 免费
- 2555集成电路应用800例(新编版)
- 0.00 MB | 33566次下载 | 免费
- 3接口电路图大全
- 未知 | 30323次下载 | 免费
- 4开关电源设计实例指南
- 未知 | 21549次下载 | 免费
- 5电气工程师手册免费下载(新编第二版pdf电子书)
- 0.00 MB | 15349次下载 | 免费
- 6数字电路基础pdf(下载)
- 未知 | 13750次下载 | 免费
- 7电子制作实例集锦 下载
- 未知 | 8113次下载 | 免费
- 8《LED驱动电路设计》 温德尔著
- 0.00 MB | 6656次下载 | 免费
总榜
- 1matlab软件下载入口
- 未知 | 935054次下载 | 免费
- 2protel99se软件下载(可英文版转中文版)
- 78.1 MB | 537798次下载 | 免费
- 3MATLAB 7.1 下载 (含软件介绍)
- 未知 | 420027次下载 | 免费
- 4OrCAD10.5下载OrCAD10.5中文版软件
- 0.00 MB | 234315次下载 | 免费
- 5Altium DXP2002下载入口
- 未知 | 233046次下载 | 免费
- 6电路仿真软件multisim 10.0免费下载
- 340992 | 191187次下载 | 免费
- 7十天学会AVR单片机与C语言视频教程 下载
- 158M | 183279次下载 | 免费
- 8proe5.0野火版下载(中文版免费下载)
- 未知 | 138040次下载 | 免费
工商网监
评论