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电子发烧友网>电子资料下载>绝缘资料|化工资料>薄膜混合电路中有机薄膜厚度的快速测定

薄膜混合电路中有机薄膜厚度的快速测定

2010-05-04 | rar | 144 | 次下载 | 免费

资料介绍

摘要:介绍了一种无损、快速、准确测定有机薄膜厚度的新方法一FT—IR反射一干涉光谱法。对测厚的原理进行了分析,将此方法用于薄膜微波电路生产中光刻臆和聚酰亚胺厚度的测定,并与传统的用台阶仪测厚方法进行比较。FT一IR反射-干涉光谱法更方便、快捷、更准确,避免了光刻的过程和光刻显影过程中显影液对膜厚的减损,以及台阶测厚仪本身可能造成的测量误差。
关键词:FT—IR;薄膜微波电路;光刻胶;厚度
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