资料介绍
多晶硅铸锭通常分为加热、熔料、高温稳定、结晶、退火、冷却等六个阶段。本文介绍加热和熔料两个过程。
(一)加热准备
装好料后,再对炉内进行一遍检查,即可开炉。一般来说,要先对炉子进行抽真空。真空泵逐级打开后,开始通电加温。抽真空的过程虽然很简单,通常是先打开初级泵(机械、旋片或滑阀泵),从大气抽到2000 Pa以下后,然后再打开罗茨泵,抽真空到10 Pa左右;对于经过清洗的洁净块料,抽真空的顺序只要按照上述步骤进行即可。大约在真空度小于1000 Pa时,就可以打开加热电源。
在硅料加热时,可以根据经验采用恒定功率加热,考虑到硅料的热传导性不佳,而RDS3.0 炉型采用的是四周加热方式,熔化时,是从四周开始熔化,这时,由于测温点在坩埚中部,因此,四周可能已经熔化并到了很高的温度,但中间的温度并不高,因此,如果采用温度设定的控制方式,可能功率会加得很大。功率大,容易导致坩埚四壁的温度上升,而坩埚由于是采用石英材质的,一旦温度超过1600 ℃以上,将很容易与硅发生反应,造成坩埚侵蚀;如果温度再上升到1700 ℃,则坩埚会与硅发生剧烈反应,导致硅液飞溅,坩埚熔穿。严重时,硅液甚至会溅到炉顶,导致石墨件和保温层损坏。因此,通常熔化阶段应当采用功率控制的方式,根据理论计算和经验值,使加热功率按照一定的设定值进行,这样可以保证坩埚温度不会过高。
对于RDS4.0型的炉体,由于采用底部和顶部加热方式,情形会好一些,但如果功率过大,也同样会在坩埚底部发生温度过高的情形,只不过,由于顶部和底部都有红外测温,因此,温度不会过高。但如果红外堵塞或者失控,那么,温度过高的危险性也是同样存在的。
- 如何生产多晶硅太阳能电池 0次下载
- 区分单晶硅和多晶硅电池板的方法 19次下载
- 几种应用与多晶硅压力传感器的温漂和灵敏度的补偿方法详细介绍 4次下载
- 多晶硅太阳电池比较单晶硅太阳电池的优点介绍 21次下载
- 单晶硅与多晶硅的详细解析 19次下载
- 多晶硅铸锭炉的装料问题解析 13次下载
- 多晶硅铸锭之晶体的形成与生长过程详述 12次下载
- 多晶硅制备详细流程及图解 66次下载
- PROFIBUS总线在多晶硅生产线的应用 21次下载
- 电子级多晶硅的生产工艺 0次下载
- 一种多晶硅还原炉自动调功器硬件系统设计与实现 70次下载
- 多晶硅产业发展浅析 21次下载
- 多晶硅薄膜太阳能电池的研制及发展趋势 41次下载
- 变温磷吸杂对多晶硅性能的影响 41次下载
- 如何加快我国多晶硅材料产业发展? 40次下载
- 多晶硅的块状破碎过程解析 193次阅读
- 多晶硅的用途包括哪些 704次阅读
- 什么是多晶硅 1.3w次阅读
- 在玻璃上制备大晶粒多晶硅薄膜的方法 1398次阅读
- 采用PROFIBUS DP实现多晶硅还原炉电气系统的设计 3397次阅读
- 多晶硅太阳能电池结构的优点详细介绍 5597次阅读
- 基于Profibus-Modbus网桥和PLC实现某多晶硅还原炉10KV电控系统的设计 1048次阅读
- PCB设计的六个检查阶段 3263次阅读
- 硅片厚度对多晶硅太阳电池的性能有什么影响? 5696次阅读
- 多晶硅太阳能板品牌_多晶硅太阳能板价格 7180次阅读
- 多晶硅太阳能电池结构_多晶硅太阳能电池原理 2.4w次阅读
- 多晶硅生产中对人体危害有多大_多晶硅得危害大吗 4.2w次阅读
- ltps低温多晶硅技术的原理解析 1.6w次阅读
- 单晶硅、多晶硅和非晶等几种硅基太阳能电池的介绍 2.2w次阅读
- 光伏技术:单晶硅与多晶硅的区别 1w次阅读
下载排行
本周
- 1储能电源市场分析报告
- 2.61 MB | 7次下载 | 免费
- 2labview文档教程资料(一)
- 24.29 MB | 2次下载 | 免费
- 3用于便携可穿戴设备的RX8130CE
- 277.67 KB | 1次下载 | 免费
- 44.5V 至 17V 输入、8A 同步降压 SWIFT™ 转换器TPS568215OA数据表
- 1.27MB | 1次下载 | 免费
- 5轻触三功能+常按 SOS 功能手筒LED驱动ICSD3302数据手册
- 0.60 MB | 1次下载 | 2 积分
- 6英集芯IP5353 QFN32 规格书pdf
- 2.70 MB | 1次下载 | 免费
- 7采用QFN封装且具有2.95V-6V 输入的LMZ30604 4A电源模块数据表
- 1.86MB | 1次下载 | 免费
- 8具有可配置电压转换和三态输出的8位双电源总线收发器SN74LVC8T245数据表
- 1.67MB | 1次下载 | 免费
本月
- 1STM32国内外发展现状
- 1.15 MB | 18次下载 | 免费
- 2传感芯片选型指南
- 3.60 MB | 12次下载 | 免费
- 3储能电源市场分析
- 7.99 MB | 11次下载 | 免费
- 4TDK电容器产品指南
- 11.88 MB | 9次下载 | 1 积分
- 5ATmega8芯片中文手册
- 2.45 MB | 8次下载 | 1 积分
- 62A多电池高效开关充电器AN_SY6912A中文资料规格书
- 1.43 MB | 7次下载 | 免费
- 7储能电源市场分析报告
- 2.61 MB | 7次下载 | 免费
- 816A 输出电流,高可靠、高效率 同步降压转换器PCD3201产品手册
- 0.47 MB | 6次下载 | 免费
总榜
- 1matlab软件下载入口
- 未知 | 935091次下载 | 免费
- 2开源硬件-PMP21529.1-4 开关降压/升压双向直流/直流转换器 PCB layout 设计
- 1.48MB | 420050次下载 | 免费
- 3Altium DXP2002下载入口
- 未知 | 233068次下载 | 免费
- 4电路仿真软件multisim 10.0免费下载
- 340992 | 191317次下载 | 免费
- 5十天学会AVR单片机与C语言视频教程 下载
- 158M | 183316次下载 | 免费
- 6labview8.5下载
- 未知 | 81567次下载 | 免费
- 7Keil工具MDK-Arm免费下载
- 0.02 MB | 73789次下载 | 免费
- 8NI LabVIEW中实现3D视觉的工具和技术
- 未知 | 70088次下载 | 免费
评论
查看更多