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电子发烧友网>电子资料下载>电子元器件应用>多晶硅制备详细流程及图解

多晶硅制备详细流程及图解

2011-01-10 | rar | 270 | 次下载 | 免费

资料介绍


、高纯多晶硅
1.概述
硅是地球上含量最丰富的元素之~ ,约占地壳质量的
25.8% ,仅次于氧元素,居第二位。硅在地球上不存在单质状
态,基本上以氧化态存在于硅酸盐或二氧化硅中,其表现形态
为各种各样的岩石,如花岗岩、石英岩等。
硅是一种半导体元素,元素符号为Sj,位于元素周期表
的第三周期第四主族,原子序数为1 4,原子量为28.0 855。
硅材料的原子密度为5.OOx1022/cm。,熔点为1 41 5~C,沸
点为2 355~(2。它在常温(300K)下是具有灰色金属光泽
的固体,属脆性材料。硅材料有多种形态,按晶体结构,可
分为单晶硅、多晶硅和非晶硅

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