Flexfilm

动态

• 发布了文章 2025-09-29 18:05

  台阶仪/椭偏仪在不同半导体关键工序中的计量技术与应用

  

  随着半导体技术向高集成度与高性能方向不断发展，工艺尺寸持续缩小，制造工艺对膜厚、线宽、台阶高度及电阻率等关键参数的测量精度提出了更高要求。然而，半导体测量设备在实际应用中面临量值溯源体系不完善、测量结果不一致等突出问题，直接影响工艺控制的准确性与器件性能的可靠性。Flexfilm探针式台阶仪可以实现表面微观特征的精准表征与关键参数的定量测量，精确测定样品的表

  半导体 测量

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• 发布了文章 2025-09-26 18:04

  椭偏仪常见技术问题解答（一）

  

  椭偏仪是一种基于椭圆偏振分析的光学测量仪器，通过探测偏振光与样品相互作用后偏振态的变化，获取材料的光学常数和结构信息。Flexfilm全光谱椭偏仪可以非接触对薄膜的厚度与折射率的高精度表征，广泛应用于薄膜材料、半导体和表面科学等领域。1椭偏仪测量什么?flexfilm椭偏仪利用偏振光来表征薄膜和块体材料。当光与样品结构相互作用时，其偏振状态会发生变化。测量结

  仪器 光学 测量仪器

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• 发布了文章 2025-09-24 18:02

  汽车玻璃可见光透射率VLT标准70%：关乎道路安全的关键指标

  

  在国际窗膜协会澳大利亚分会（IWFAA）的持续游说下，澳大利亚多地已允许将汽车前侧窗的可见光透射率（VLT）标准从70%降至35%，以期实现全国规范统一。然而，这一提议引发了重要的道路安全隐患：前侧窗作为驾驶员观察侧向交通、识别行人及骑行者的关键视觉通道，其透光率的大幅降低将直接削弱在夜间、低光照或复杂路况下的视觉识别能力。Flexfilm汽车玻璃透过率检测

  vlt 检测仪 汽车

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• 发布了文章 2025-09-22 18:05

  从数据到模型：台阶仪如何实现高精度微结构测量

  

  为解决台阶仪在微结构测量中的点云配准精度不足、系统误差难补偿及传统校准离散、导轨误差大等问题，费曼仪器致力于为全球工业智造提供提供精准测量解决方案，Flexfilm探针式台阶仪可以实现表面微观特征的精准表征与关键参数的定量测量，精确测定样品的表面台阶高度与膜厚，为材料质量把控和生产效率提升提供数据支撑。本研究提出融合增强型ICP与SIL的表面匹配方法，辅以多

  仪器 测量 精密测量

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• 发布了文章 2025-09-19 18:03

  基于光谱椭偏术的多层结构介质衍射光栅表征研究

  

  在集成光学与光子器件研究中，介电衍射光栅是耦合布洛赫表面波等导模的关键元件，但其亚微米尺度的几何参数难以通过显微技术精确表征。Flexfilm全光谱椭偏仪可以非接触对薄膜的厚度与折射率的高精度表征，广泛应用于薄膜材料、半导体和表面科学等领域。本研究采用光谱椭偏术（SE）对制备于布洛赫表面波（BSW）支撑多层结构上的亚微米周期介质光栅进行光学表征与建模，在建模

  光子器件 光谱 耦合器

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• 发布了文章 2025-09-17 18:03

  衍射光学元件DOE：台阶高度与位置误差的测量

  

  衍射光学元件（DOE）因其在波前调制和色差校正方面的优势，广泛应用于红外光学系统等领域。然而，其非连续面形结构（如相位突变点和台阶高度）使得传统检测方法难以满足精度要求。费曼仪器致力于为全球工业智造提供提供精准测量解决方案，Flexfilm探针式台阶仪可以实现表面微观特征的精准表征与关键参数的定量测量，精确测定样品的表面台阶高度与膜厚，为材料质量把控和生产效

  DOE 光学元件 测量

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• 发布了文章 2025-09-15 18:02

  椭偏仪选型指南 | 椭圆偏振法与反射法的优劣对比

  

  椭圆偏振法和反射法是用于表面分析和薄膜表征的光学测量技术。这两种方法都依赖于光反射：椭圆偏振法分析反射光偏振状态的变化，反射法则测量其强度。椭圆偏振法和反射法之间的选择取决于测量原理、灵敏度和数据解释要求。每种技术在材料科学和表面分析中都有特定的作用。Flexfilm全光谱椭偏仪可以非接触对薄膜的厚度与折射率的高精度表征，广泛应用于薄膜材料、半导体和表面科学

  光学测量 半导体 薄膜材料

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• 发布了文章 2025-09-12 18:10

  汽车玻璃透光率≥70%的吸水防雾微米膜层的制备

  

  汽车玻璃的防雾功能是保障驾驶安全的关键，当前前档玻璃可通过空调、后档玻璃可通过电加热实现防雾，但边窗玻璃因结构限制（多为单层钢化玻璃），现有防雾手段均不适用。同时，已有的防雾材料普遍存在耐候性差、耐磨性不足、易黄变等问题，难以满足汽车玻璃长期使用需求。本研究设计双层结构吸水防雾膜，通过分层功能分工实现高效防雾与稳定性能。通过Flexfilm汽车玻璃透过率检测

  材料 检测仪 汽车

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• 发布了文章 2025-09-10 18:04

  台阶仪在大面积硬质涂层的应用：精准表征形貌与蚀刻 / 沉积结构参数

  

  PVD硬质涂层的表面形貌直接影响其摩擦学、润湿性等功能性能，而精准表征形貌特征是优化涂层工艺的关键。台阶仪因可实现大扫描面积的三维形貌成像与粗糙度量化，成为研究PVD涂层形貌的核心工具。费曼仪器致力于为全球工业智造提供提供精准测量解决方案，Flexfilm探针式台阶仪可以实现表面微观特征的精准表征与关键参数的定量测量，精确测定样品的表面台阶高度与膜厚，为材料

  仪器 测量 薄膜厚度

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• 发布了文章 2025-09-08 18:02

  椭偏仪在半导体薄膜厚度测量中的应用：基于光谱干涉椭偏法研究

  

  薄膜厚度的测量在芯片制造和集成电路等领域中发挥着重要作用。椭偏法具备高测量精度的优点，利用宽谱测量方式可得到全光谱的椭偏参数，实现纳米级薄膜的厚度测量。Flexfilm全光谱椭偏仪可以非接触对薄膜的厚度与折射率的高精度表征，广泛应用于薄膜材料、半导体和表面科学等领域。为解决半导体领域常见的透明硅基底上薄膜厚度测量的问题并消除硅层的叠加信号，本文提出基于光谱干

  半导体 厚度测量 薄膜

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