Flexfilm

动态

• 发布了文章 2025-07-22 09:54

  半导体薄膜厚度测量丨基于光学反射率的厚度测量技术

  

  在半导体制造中，薄膜的沉积和生长是关键步骤。薄膜的厚度需要精确控制，因为厚度偏差会导致不同的电气特性。传统的厚度测量依赖于模拟预测或后处理设备，无法实时监测沉积过程中的厚度变化，可能导致工艺偏差和良率下降。为此，研究团队开发了一种基于激光反射率的光学传感器，能够在真空环境下实时测量氧化膜（SiO₂）、氮化膜（Si₃N₄）和多晶硅（p-Si）的厚度。FlexF

  传感器 半导体 测量

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• 发布了文章 2025-07-22 09:54

  半导体膜厚测量丨光谱反射法基于直接相位提取的膜厚测量技术

  

  在现代半导体和显示面板制造中，薄膜厚度的精确测量是确保产品质量的关键环节。传统方法如扫描电子显微镜（SEM）虽可靠，但无法用于在线检测；椭圆偏振仪和光谱反射法（SR）虽能无损测量，却受限于计算效率与精度的矛盾。近期，研究人员提出了一种创新方法——直接相位提取技术，成功打破了这一技术瓶颈。FlexFilm单点膜厚仪结合相位提取技术通过将复杂的非线性方程转化为线

  光谱 半导体 测量

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• 发布了文章 2025-07-22 09:54

  DLC薄膜厚度可精准调控其结构颜色，耐久性和环保性协同提升

  

  类金刚石碳（DLC）薄膜因高硬度、耐磨损特性，广泛应用于刀具、模具等工业领域，其传统颜色为黑色或灰色。近期，日本研究团队通过等离子体化学气相沉积（CVD）技术，将DLC薄膜厚度控制在20-80纳米范围内，首次实现对其结构色的精确调控。这一发现为材料的光学功能化提供了新方向。等离子体CVD装置示意图1结构色产生的物理机制flexfilm结构色由光的干涉效应主导

  测量 薄膜

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• 发布了文章 2025-07-22 09:54

  椭偏仪测量薄膜厚度的原理与应用

  

  在半导体、光学镀膜及新能源材料等领域，精确测量薄膜厚度和光学常数是材料表征的关键步骤。Flexfilm光谱椭偏仪（SpectroscopicEllipsometry,SE）作为一种非接触、非破坏性的光学测量技术，通过分析光与材料相互作用后偏振态的变化，能够同时获取薄膜的厚度、折射率、消光系数等参数。本文将从原理、测量流程及实际应用三个方面，解析椭偏仪如何实现

  测量 薄膜厚度

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• 发布了文章 2025-07-22 09:54

  聚焦位置对光谱椭偏仪膜厚测量精度的影响

  

  在半导体芯片制造中，薄膜厚度的精确测量是确保器件性能的关键环节。随着工艺节点进入纳米级，单颗芯片上可能需要堆叠上百层薄膜，且每层厚度仅几纳米至几十纳米。光谱椭偏仪因其非接触、高精度和快速测量的特性，成为半导体工业中膜厚监测的核心设备。1宽光谱椭偏仪工作原理flexfilm宽光谱椭偏仪通过分析偏振光与样品相互作用后的偏振态变化，测量薄膜的厚度与光学性质。其核心

  光谱 测量

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• 发布了文章 2025-07-22 09:54

  薄膜厚度测量技术的综述：从光谱反射法（SR）到光谱椭偏仪（SE）

  

  薄膜在半导体、显示和二次电池等高科技产业中被广泛使用，其厚度通常小于一微米。对于这些薄膜厚度的精确测量对于质量控制至关重要。然而，能够测量薄膜厚度的技术非常有限，而光学方法因其非接触和非破坏性特点而被广泛采用。Flexfilm全光谱椭偏仪不仅能够满足工业生产中对薄膜厚度和光学性质的高精度测量需求，还能为科研人员提供丰富的光谱信息，助力新材料的研发和应用。1光

  光谱 测量 薄膜

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• 发布了文章 2025-07-22 09:53

  基于像散光学轮廓仪与单点膜厚技术测量透明薄膜厚度

  

  透明薄膜在生物医学、半导体及光学器件等领域中具有重要应用，其厚度与光学特性直接影响器件性能。传统接触式测量方法（如触针轮廓仪）易损伤样品，而非接触式光学方法中，像散光学轮廓仪（基于DVD激光头设计）虽具备高分辨率全场扫描能力，但对厚度小于25μm的薄膜存在信号耦合问题。本研究通过结合FlexFilm单点膜厚仪的光学干涉技术，开发了一种覆盖15nm至1.2mm

  光学器件 测量 表面轮廓仪

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• 发布了文章 2025-07-22 09:53

  大面积薄膜光学映射与成像技术综述：全光谱椭偏技术

  

  在微电子制造与光伏产业中，大面积薄膜的均匀性与质量直接影响产品性能。传统薄膜表征方法（如溅射深度剖析、横截面显微镜观察）虽能提供高精度数据，但测量范围有限且效率较低，难以满足工业级大面积表面的快速检测需求。本文聚焦光学表征技术的革新，重点阐述椭偏仪等光学方法在大面积薄膜映射与成像中的突破性应用。其中，Flexfilm全光谱椭偏仪以其独特的技术优势，在大面积薄

  测量 薄膜光伏

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• 发布了文章 2025-07-22 09:53

  生物聚合物薄膜厚度测定：从传统触探轮廓仪到全光谱椭偏仪

  

  生物聚合物薄膜（如纤维素、甲壳素、木质素）因其可调控的吸水性、结晶度和光学特性，在涂层、传感器和生物界面模型等领域应用广泛。薄膜厚度是决定其性能的关键参数，例如溶胀行为、分子吸附和光学响应。然而，生物聚合物的高亲水性、软质结构及表面异质性使厚度精确测定面临挑战。本文系统总结了现有测定技术，以纤维素为代表性案例，探讨方法优势与局限性。近年来，Flexfilm全

  传感器 机械

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• 发布了文章 2025-07-22 09:53

  白光色散干涉：实现薄膜表面轮廓和膜厚的高精度测量

  

  薄膜结构在半导体制造中扮演着至关重要的角色，广泛应用于微电子器件、光学涂层、传感器等领域。随着半导体技术的不断进步，对薄膜结构的检测精度和效率提出了更高的要求。传统的检测方法，如椭圆偏振法、反射法和白光扫描干涉法等，虽然在一定程度上能够满足测量需求，但存在一些局限性。针对这些现有技术的不足，本文提出了一种基于白光色散干涉法（WLDI）的高精度测量系统。该系统

  测量 表面轮廓仪

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