中微半导体过会 科创板迎来最硬核企业

近日，中微半导体通过发审会，科创板最硬核企业即将登场。

资料显示，中微半导体成立于2004年，是一家立足中国、面向全球的高端半导体微观加工设备公司，是我国集成电路设备行业的领先企业。公司聚焦用于集成电路、LED芯片等微观器件领域的等离子体刻蚀设备、深硅刻蚀设备和MOCVD设备等关键设备的研发、生产和销售。

据财务数据显示，中微半导体2016年、2017年和2018年营业收入分别为6.10亿元、9.72亿元、16.39亿元，报告期内年均复合增长率为64.00%。归属于母公司所有者的净利润分别从亏损2.39亿元、亏损0.3亿元到实现盈利0.9亿元，3年间实现了扭亏为盈。

集成电路是中微半导体主攻领域之一。资料显示，芯片的“地基”晶圆在制造中有七大类关键工艺：光刻，刻蚀，掺杂，薄膜生长，热处理，抛光和清洗等工艺。

刻蚀设备是晶圆制造中最重要设备之一。从2004年开始研发相关产品以来，中微半导体目前的刻蚀机已经涵盖65纳米、45纳米、32纳米、28纳米、22纳米、14纳米、7纳米到5纳米关键尺寸的众多刻蚀应用。其刻蚀机的工艺水平已达世界先进水平。

2017年7月，台积电宣布，中微半导体被纳入其7nm工艺设备商采购名单。去年12月，中微半导体自主研制的5纳米等离子体刻蚀机正式通过台积电验证，将用于全球首条5纳米制程生产线。

目前，高端刻蚀机仅美国上市公司应用材料、东京电子和中微半导体等少数几家，能通过台积电5nm验证的更少。这也是国内半导体厂商第一次参与世界最先进的芯片研发生产行列。

在LED芯片生产设备领域，中微半导体的MOCVD设备更是打破了国外垄断。过去，全球的MOCVD市场基本被维易科和爱思强垄断，随着国内越来越多的企业涉足MOCVD设备，情况发生了明显改变。其中，中微半导体更是国产MOCVD设备企业中的佼佼者。

其招股说明书显示，2018年中微半导体在MOCVD设备上的销量为106台，较去年同期增长85.96%。去年，其销售MOCVD设备的收入在8.32亿，占其总收入的50.76%。在刻蚀设备尚未发力的阶段，MOCVD设备销售成为公司的主要收入来源。

尽管，维易科和爱思强仍然在全球MOCVD市场占有份额优势，但其地位已经明显不如以往那般稳固。随着国产LED芯片比重的提升，中微半导体有望在MOCVD设备上获得进一步突破。