半导体用电子气体国产化呼声日益增高

根据国际半导体协会(SEMI)的数据，2017年全球半导体用特种气体市场规模为38.9亿美元，增长率为12.32%。按此增速，2018年的市场规模预计在45亿美元左右。

目前，国际上电子气体产业已经处于非常成熟的时期，全球半导体用电子气体市场呈现出寡头竞争的格局，美国空气化工、法国液化空气、普莱克斯、德国林德、日本大阳日酸之和占比94%以上。国内的半导体用电子气体市场也主要被国外厂商占据，其中空气化工、普莱克斯、昭和电工、英国BOC、液化空气和日本大阳日酸6家公司合计市场占有率高达85%。

当前，世界集成电路产业正呈现向中国快速转移的趋势，因此中国对电子气体的需求也呈大幅增长态势。中国高速发展的集成电路产业要求关键的电子气体要尽快实现国产化，并保证稳定的供应。可喜的是，近几年，国内电子气体产业已经起步并开始步入快速成长期，出现了江苏南大光电材料股份有限公司、佛山市华特气体有限公司、苏州金宏气体股份有限公司等一批电子气体生产企业，在高纯六氟化钨、三氟化氮、氨气等领域已经取得了突破。

但是，由于国内电子气体的生产和供应商规模较小、质量稳定性问题和产品的包装、储运等原因，国内电子气体的生产商还不能全面进入集成电路等领域。要真正实现电子气体的大规模本土化，摆脱对进口材料的依赖，依然任重道远。

业内人士表示，中国集成电路产业要实现从跟踪走向引领的跨越，电子气体的突破将是重要一环。需要国家落实和完善对该类企业的财税、资金等优惠政策支持，加大财政资金、大基金和金融部门的扶持力度，引导集成电路厂家使用国产电子气体，从而帮助企业把握发展机遇，加快企业技术进步和做大做强。