半导体清洗设备逐步实现国产化 但与国际水平仍有较大差距

整个半导体产业设备市场中，80%份额为晶圆处理设备，在此环节中，清洗步骤约占整体步骤的33%，清洗设备对生产线的良率和经济效益均起着至关重要的的影响。

作为国产半导体清洗设备“三剑客”之一，至纯科技受到了投资机构的关注，日前迎来了浙商证券、海富通基金、申万宏源、光大证券等一众投资机构调研，谈及其半导体清洗设备领域布局。

对标国际巨头 5年目标200台

至纯科技成立于2000年，致力于为高端先进制造业企业提供高纯工艺系统的解决方案，2018年上半年其半导体行业收入占比为69.4%，客户包括上海华力、中芯国际、长江存储、合肥长鑫、士兰微等企业。

相较于盛美半导体和北方华创，至纯科技涉足半导体清洗设备领域的时间不算长，据悉其于2015年开始启动湿法工艺装备研发，2017年底成立独立的半导体湿法事业部。

据至纯科技在调研活动中透露，其湿法事业部目前共有员工近40人，未来团队规模有望达到300~400人。其中，槽式清洗设备主要引进日本团队近20人，团队人员均有国际大厂相关经验；单片式清洗设备则与海力士专属供应商——韩国公司MUJIN合作，双方均贡献技术、共享IP。

至纯科技表示，目前槽式清洗设备是在日本制造，将来会放在启东新厂。据悉，至纯科技启东新厂占地100亩、规划两期，产能贡献主要在系统集成和湿法制造，乐观估计10月份部分交付使用，明年下半年产能有望开始释放，但达产仍需过程。

启东基地产能释放后，至纯科技预计高纯系统集成方面的产能将是目前的4~5倍，清洗设备一期设计产能则为年产48台。根据至纯科技2017年年报提出的目标，未来5年内实现清洗设备累计销售200台。

值得一提的是，目前至纯科技湿法槽式清洗设备已获得6台的量产订单，客户是中芯国际和万国半导体，9月下旬交付两台，乐观估计今年第四季度或明年第一季度确认收入。根据自身产能及产业链调研情况，至纯科技认为其2019年清洗设备新增订单规模将在20台水平。

至纯科技表示，公司在半导体清洗设备领域的目标很明确——就是做进口替代，对标的是国际半导体设备巨头Lam Research和DNS，计划从零配件到整机，从高端产品到全产品覆盖，逐步实现国产化。

国产清洗设备与国际的差距

数据显示，2017年全球半导体清洗设备市场规模为27亿美元，随着工艺节点的升级以及良率要求提高，清洗设备用量需求将持续增加，预计2020年将达到35-40亿美元，其中中国市场有望突破600亿元人民币。

据悉，清洗设备在晶圆制造设备中的采购费用占比约为5%。至纯科技指出，从清洗设备的配备量来看，以4万片产能的产线为例，一般情况下，8寸线匹配50台设备，12寸线国内匹配70台设备左右，包括槽式和单片，国外有的厂商能够达到120台清洗设备水平。

价格方面，市面上最便宜的单片清洗设备是两个腔体的50-60万美元，6-8个腔体的单片式清洗设备的价值大概300-400万美元，槽式价格100-200万美元市场价格，一个Fad厂在清洗设备上采购费用需要约2亿美元。

纵观全球清洗设备市场，日系企业占据主导地位，DNS、Tokyo Electron分别占据约60%、30%市场份额，剩下的则由美国Lam Research、韩国SEMES等企业瓜分，中国企业与国际水平仍有较大差距。

至纯科技表示，目前国外单片式清洗设备已发展到12个、16个腔体了，腔体越多、对应的附属设备的介质供应也越多，可需要满足智能化、软件控制、压力均等和清洗后的存放等需求。而国产清洗设备，以种类众多的湿法清洗设备为例，从种类和功能上国产设备目前实现只有其中的10%。

国内的清洗设备企业除了至纯科技外，主要厂商还有盛美半导体和北方华创，这“三剑客”正在通过各自的方式发展壮大。

盛美半导体成立于1998年，一直主攻单片式清洗设备，拥有独创的兆声波清洗（SAPS）技术、通电气泡震荡兆声波清洗（TEBO）技术，是国内唯一进入14nm产线验证的清洗设备厂商，在技术上已具备与国际企业竞争的实力。

在产品上，盛美半导体集中在基于SAPS和TEBO技术的单片清洗设备，近三年营收占比均超过70%；客户方面，盛美半导体与海力士有着长期合作关系，并已进入长江存储、中芯国际、华力微电子、长电科技等企业生产线。

尽管盛美半导体在国内清洗设备产业处于领先地位，但与国际巨头相比，其在规模、产品系列数、利润和研发投入绝对值上尚不在一个量级。

另观北方华创，与盛美半导体长期通过自主创新主攻单片清洗设备不同，北方华创作为国内拥有最丰富产品线的半导体设备企业，其清洗设备产品覆盖了单片和槽式。

2017年8月，北方华创以1500万美元收购了美国半导体清洗设备企业Akrion，该交易已于今年1月宣布正式完成交割。Akrion在清洗设备方面拥有多年的技术积累和客户基础，进一步丰富了北方华创的产品线。

截至目前，北方华创在清洗设备领域，已经形成涵盖应用于集成电路、先辈封装、功率器件、微机电系统和半导体照明等半导体领域的8-12英寸批式和单片清洗机产品。

盛美半导体走自主创新之路，北方华创结合创新与吸收、收购，至纯科技则基于自身优势与国际厂商合作，三者均已取得一定成绩，但总体而言，国内清洗设备国产化仍有很长的路要走。

不过，随着半导体产业明显向中国转移，国产清洗设备企业将迎来良好的机遇。至纯科技在调研中提及，其与下游客户的沟通结果来看，2018-2019是建厂高峰期，2019-2021是设备的高峰期，整体行业正进入清洁设备采购期。

如此一来，国产清洗设备企业有望在这波晶圆建厂浪潮中异军突起。