中微公司左涛涛荣获“上海质量工匠”称号

热烈祝贺中微公司左涛涛荣获“上海质量工匠”荣誉称号！

近日，上海市质量协会公布第三届(2025年度)“上海质量工匠”名单，中微半导体设备（上海）股份有限公司（证券简称：中微公司，证券代码：688012）刻蚀设计总监左涛涛凭借出色的引领力、实践力、创新力、攻关力、传承力等“工匠五力”获此殊荣。

左涛涛谈到对“工匠精神”的理解时说，“工匠精神”源于对技艺的敬畏，是对细节、极致的追求。工匠精神体现出对产品的尊重，将产品视为有生命力的个体，既深刻理解又敬畏有加，它也是对产品、客户、社会的一种责任感。工匠精神不仅要严守技法，还要守正创新，驱动技术突破。

左涛涛自2009年加入公司以来，参与开发了10余款刻蚀机产品，熟悉刻蚀机系统开发流程、子模块的技术要点、系统总成及测试验收等，参与多个国家级、省（市）级项目，协同团队攻克众多技术难题，共申请专利合计145项，其中已授权专利114项。

自2007年首台等离子体刻蚀设备付运以来，中微公司在过去的近20年着力开发了完整系列的18种等离子体刻蚀设备，并积累了大量的芯片生产线量产数据和客户验证数据。公司的CCP电容性高能等离子体刻蚀机和ICP电感性低能等离子体刻蚀机可以覆盖国内95%以上的刻蚀应用需求，在性能优秀、稳定性高等方面满足了客户先进制程中各类严苛要求。中微公司通过不断提升反应台之间气体控制的精度， ICP双反应台刻蚀机Primo Twin-Star 反应台之间的刻蚀精度已达到0.2A（亚埃级）。截至2024年年底，公司累计已有超过6000台等离子和化学薄膜的反应台，在国内外137条生产线实现量产和大规模重复性销售。

谈及此次获奖，左涛涛表示，公司一直以来非常重视对“产品开发质量”的管理，追求“一次做对”和产品“零缺陷”，也是中微特色的“三全、三重保险、三个满意”的质量管理模式的十大方面之一，好的产品设计是为客户提供性能稳定、质量可靠的优质产品的有力保障。

此次评选在上海市各重点行业、重点领域137家企事业单位165位个人自愿申报、各级组织推荐的基础上，上海市质量协会按照引领力、实践力、创新力、攻关力、传承力等“工匠五力”的培养选树条件，并突出质量要素，共评选出左涛涛在内的26人为第三届(2025年度)“上海质量工匠”。值得一提的是，此次选树出的26位 “上海质量工匠”，也将进入“上海工匠”的蓄水池。

长期以来，中微公司瞄准“打造世界级装备企业”战略目标，持续提升产品的性能和质量、提高运营效率和风险管控能力，认真贯彻“五个十大”的企业文化，不断完善企业的制度与措施，落实“三全、三重保险、三个满意”的质量管理模式，坚持三维立体发展战略，实现高速、稳定、健康和安全的高质量发展，力争尽早成为高端设备平台公司，在规模上和竞争力上成为国际一流的半导体设备公司！

关于中微半导体设备（上海）股份有限公司

中微半导体设备（上海）股份有限公司（证券简称：中微公司，证券代码：688012）致力于为全球集成电路和LED芯片制造商提供领先的加工设备和工艺技术解决方案。中微公司开发的CCP高能等离子体和ICP低能等离子体刻蚀两大类，包括十几种细分刻蚀设备已可以覆盖大多数刻蚀的应用。中微公司的等离子体刻蚀设备已被广泛应用于国内和国际一线客户，从65纳米到5纳米及更先进工艺的众多刻蚀应用。中微公司最近十年着重开发多种导体和半导体化学薄膜设备，如MOCVD，LPCVD，ALD和EPI设备，并取得了可喜的进步。中微公司开发的用于LED和功率器件外延片生产的MOCVD设备早已在客户生产线上投入量产，并在全球氮化镓基LED MOCVD设备市场占据领先地位。此外，中微公司也在布局光学和电子束量检测设备，并开发多种泛半导体微观加工设备。这些设备都是制造各种微观器件的关键设备，可加工和检测微米级和纳米级的各种器件。这些微观器件是现代数码产业的基础，它们正在改变人类的生产方式和生活方式。在美国TechInsights（原VLSI Research）近五年的全球半导体设备客户满意度调查中，中微公司四次获得总评分第三，薄膜设备四次被评为第一。