当椅子、杯子也有了“眼睛”和“皮肤”……疯狂畅想MEMS产业

当椅子、杯子也有了“眼睛”和“皮肤”……疯狂畅想MEMS产业

如果有一天，你坐的椅子，喝水用的杯子也“长”了“眼睛”和“皮肤”，请不要诧异，这可能是MEMS新技术。

4月19日上午，由苏州工业园区科技和信息化局主办的科技创享汇系列活动之一“传感世界，传感未来——中国新兴MEMS产业”在园区举行。活动上，苏州敏芯微电子技术有限公司（以下简称“苏州敏芯”）CEO李刚博士为大家带来新兴MEMS产业方面的精彩讲座。

李刚博士

李刚博士作为苏州敏芯集成微型硅麦克风的post-CMOS集成工艺的发明者，有十年超净间的丰富工作经验，熟悉CMOS工艺和MEMS工艺，参与过三轴加速度计传感器、集成浮栅可编程电容式微型硅麦克风、集成多晶硅压力传感器、集成惯性开关传感器等多项MEMS重大项目。

讲座上，李刚博士为大家介绍，MEMS技术是用可批量制作的集微型机构、微型传感元件、微型执行器以及微电信号处理和控制电路为一体的自动化、智能化器件将电子系统与外部世界有机地联系起来。“这是一个很有想象力的产业。整个产业还处于初期阶段，大陆的MEMS产业链还未完全形成，产业链各个环节仍然有战略卡位的机会，对中国MEMS初创企业来说，未来仍有足够的增量市场、市场代替以及细分市场机会；国内有大量落后的4寸及6寸半导体代工厂，比较适合从红海的半导体产业转型蓝海的MEMS加工，此外，国内大量落后的IC封装厂也可以转型做特殊的MEMS封装；MEMS产业有宽广的研究范围，包括RF-MEMS，Bio- MEMS，NEMS，MOEMS，可靠性，封装，材料；大量的大学及研究所在国家项目的支持下，从事MEMS技术的研究工作；数量众多的华裔海归人才带来MEMS公司的工业经验，先进技术以及宽阔的视野；庞大的‘物联网’国家战略孕育着无穷的增量市场。”

苏州敏芯于2007年成立，与中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所合作进行MEMS压力传感器及微硅麦克风的量产工作，是中国大陆最早成立的MEMS创业公司之一，也是大陆最有影响力的MEMS初创公司，产品涵盖了硅麦克风，硅压力传感器、加速度传感器、力传感器，涵盖了消费类电子、医疗、工业控制以及汽车电子等领域。该公司是目前唯一实现盈利的主战场在消费类的MEMS初创公司，在大陆MEMS初创公司中客户资源优质，分别是华润上华、中芯国际和华天的最大MEMS客户，还突破了国内一线手机品牌客户。2017年硅麦克风全球出货量第五，2018年预计全球出货量第四。

由苏州工业园区主导的“第九届中国国际纳米技术产业博览会（CHINANO Conference & Expo，以下简称纳博会®）”即将于10月24-26日在苏州国际博览中心召开，届时“传感器与MEMS技术产业化国际研讨会”也将同期召开，欢迎参会参展。