我国半导体用镍铂靶材的制备关键技术及产业化获突破

经过刻苦攻关，云南省国际合作计划专项——“半导体器件用镍铂靶材的制备关键技术及产业化”取得重大突破，建立了生产线并取得良好经济效益，镍铂靶材替代了进口产品并远销海外。近日，由贵研铂业股份有限公司承担的该项目通过验收，总体评价为优秀。

项目实施过程中，技术团队开展了镍铂靶的真空熔铸及塑性加工等方面的研究，在镍铂靶的微观结构及择优取向控制、含脆性相靶材的塑性加工技术、异型靶材的冲压成型技术；刀具的选型、装夹工具设计及机加工优化技术；靶材与背板的高可靠性焊接技术；加工过程中产生的边角料清洗再利用技术、Pt的绿色高效化学提纯技术4个方面取得重大突破。该技术团队先后入选昆明市科技创新团队，云南省创新团队培育对象、云南省工人先锋号。

据悉，项目实施以来，取得了良好经济社会效益。贵研铂业股份有限公司建成了年产1000片镍铂靶产品示范生产线，形成了长方状、碗状和圆形3种外形，5种不同Pt含量的镍铂靶材产品，技术性能指标及尺寸精度满足了用户使用要求。产品不但实现了替代进口，还出口至美国知名半导体公司。累计销售各类镍铂靶材1300片，实现产值1.05亿元，销售利润1946.39万元，其中出口创汇517.2万美元。2017年，产品获得第19届深圳高交会优秀产品奖。期间，技术团队申请发明专利20件，授权9件，发表论文22篇；引进海归博士1人，培养在职博士生4人，培养硕士研究生3人。