半导体图示测试仪/参数测试系统的夹具是什么？作用是什么？

一、定义与核心功能

半导体测试仪夹具是用于固定被测器件（如芯片、晶圆、封装模块）并建立稳定电气连接的专用装置，其核心功能包括：

‌精准定位与固定‌：通过机械结构（如夹持螺杆、导向槽）确保被测件在测试过程中的位置稳定性。

‌信号传输与隔离‌：利用PCB板、导电触点等介质实现信号输入/输出，同时通过匹配电路减少高频噪声干扰。

‌环境模拟支持‌：适配高低温测试需求，部分夹具内置恒温控制模块或适配外部温控设备。

二、主要类型与技术特性

分类	典型示例与特性	应用场景
‌晶圆级测试夹具‌	搭配探针台使用，支持晶圆直接接触测试（需高精度探针阵列）	晶圆电性参数验证
‌封装后测试夹具‌	支持1A电流和200V电压测试，配备安全互锁功能以防止高压危险	封装芯片功能验证
‌高功率测试夹具‌	模块化设计支持高达20A/3000V参数，可选聚四氟乙烯插座增强绝缘性能	功率半导体器件测试
‌专用功能夹具‌	- 双自动恒温压力夹具：集成温控与压力双重调节，适用于高压晶闸管检测 - 防自激振荡夹具：通过镂空结构和高导热底座抑制高频干扰	特殊工况测试

三、关键结构与材料选择

‌机械设计‌

‌夹持组件‌：采用螺纹驱动或滑轨调节机构，适配不同尺寸被测件。

‌散热结构‌：导热底座搭配凹槽设计，提升高负载测试的散热效率。

‌材料特性‌

‌绝缘材料‌：聚四氟乙烯（PTFE）或PEEK（聚醚醚酮）用于制作插座或基板，耐高温且介电性能优异。

‌金属部件‌：铜合金电极增强导电性，不锈钢框架保证结构强度。

四、安全与可靠性设计

‌电气安全‌：高压测试时强制关闭盒盖（如互锁功能），防止人员误触危险电压。

‌抗干扰设计‌：外匹配电路减少高频信号反射，避免测量误差。

‌稳定性优化‌：防滑导向板或L型固定结构确保被测件在力学测试中无位移（如推力测试机夹具）。

五、选型建议

‌高精度需求‌：优先选择模块化夹具并配置专用适配器。

‌极端环境测试‌：需搭配恒温控制模块或选择耐高温材料的夹具。

‌成本控制‌：国产化方案（如西安中昊芯测测试治具）可满足多种功能验证需求。

审核编辑 黄宇