射频VI功率计，VI Power Sensor
射频VI功率计（VI Power Sensor）是一款实时监测射频电源信号的电压、电流、功率、反射和阻抗等参数的仪器，具有1%的极高的精度和多种功能。可用于射频电源和自动匹配器及等离子体的相关测试。射频VI功率计配备L29的接口，并可以转接N等多重不同形式的接口。
支持13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz频率信号的测量
支持大功率射频信号的测量，最高功率可达12kW
经过高精度的校准，可精确测量50欧及非50欧的负载
可实时显示射频信号的正向功率、反射功率、电压、电流、负载阻抗等参数的曲线
实时模式最小采样周期可达20us，最大采样周期可达1s
高速模式最小采样周期可达1us，可观察脉冲信号、电弧放电时信号的变化细节
可实时在史密斯圆图显示阻抗值及变化轨迹，精度可媲美离线矢量网络分析仪
应用方式
审核编辑 黄宇
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