什么是射频电源

射频电源，是可以产生固定频率的正弦波，具有一定频率的高频电源，主要由射频信号源、射频功率放大器及阻抗匹配器组成。目前射频电源被广泛应用于半导体工艺设备、LED与太阳能光伏行业、科学研究、射频感应加热、无线通信、医疗美容及常压等离子体消毒清洗等领域。

匹配器，射频自动匹配器主要用于将等离子体腔体的阻抗匹配成便于射频电源输出最大功率的阻抗,减小输入信号的反射损耗。

射频电源的基本组成，包括信号发生部分、功率放大部分、阻抗匹配部分、信号检测部分和控制部分等。

信号发生，包括直流供电电源模块+振荡电路模块，作用为供电和发出信号源。

功率放大，是射频电源的核心部件其作用是将低频电源的电能转换为高频电能。

阻抗匹配，则用于调节输出阻抗，使其与负载阻抗相匹配，从而提高输出功率和效率。

信号检测，用于检测射频电源负载的电压电流信号，并传输给控制电路。

控制电路，用于控制功率放大器的工作状态，保证其定可靠地工作。

6KW射频电源

射频电源是等离子体设备的能量驱动源，主要应用于射频溅射、等离子体化学气相沉积(PECVD) 、等离子体镀膜、清洗、刻蚀等制造行业。由射频信号发生器、功率放大器、VI 检测单元以及核心处理器等部分组成。

产品特点：

先进高效率、高稳定性射频功放技术

全数字控制，高稳定度和高可靠性

输出功率余量大，可长期稳定工作

具有精确的测量功能，包括输出功率、反射功率和负载阻抗

具有自动增益控制功能，能精确的控制输出功率

支持本地控制、IO控制和远程控制，远程控制采用RS485和RJ45网口

采用先进的功放技术，输出功率可从最小输出功率至最大额定输出功率连续可调

德芯科技射频电源具有高精度、高可靠，偏压监测，带灭弧功能等

完善的保护功能：过荷、过流、过温等保护

输出频率：13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz(可选）

输出功率：300W、600W、1KW、1.5KW、3KW、6KW、12KW、20KW(可选，可定制）

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审核编辑 黄宇