气密性检漏装置技术解析：MFM气体质量流量计在工业检测中的关键应用！

气密性检测是工业生产中保障产品质量和安全的关键环节，尤其在新能源汽车、医疗器械、航空航天等领域，微小的泄漏可能导致产品失效甚至安全事故。它直接关系到产品的质量、性能以及安全性。从航空航天到汽车制造，从电子设备到医疗器械，几乎所有涉及密闭空间或流体传输的产品都离不开气密性检测。

随着检测需求向高精度、智能化方向演进，直压法、差压式、流量法、氦质谱检漏法等主流技术呈现差异化发展格局。本文聚焦气体质量流量计（MFM）在检漏领域的创新应用，解析其技术要求与行业价值。

一、主流气密性检漏技术对比

1. 直压法检漏

直压法是一种较为基础且直接的检漏方法。它通过向被测物体充入一定压力的气体，然后监测压力的变化来判断是否存在泄漏。检测操作过程是这样的：对工件的被测容腔在一定压力条件下（具体压力参数由生产线检测[工艺规程]决定）进行充气、保持一定时间后，切断被测工件和气源气路测漏仪压力传感器记录下此时的压力示值，经过一定时间（数秒或数十秒、甚至更久）后，再次读取压力示值并和前次记录的压力示值进行比较。若被测容腔有泄漏，则两次压力示值有一个差值。此差值大小反映工件在检测时间周期内的泄漏状态，差值越大表示工件泄漏越严重。只要此差值在允许范围内，即可认为被测工件合格。反之，为不合格。适用于中高泄漏率场景（如汽车油箱、家电壳体）。

2. 差压式检漏法

差压型气密仪的检测操作过程和直压型的差别主要是利用“标准品”作为参照物在相同的过程和状态条件下，比较被测工件与“标准品”的差异来判断被测工件是否合格。

其检测过程如下：首先在气密仪标示的标准品端接上标准品（标准品可以是一个被用多种方法检测合格并被确认为可以作为衡量其他与之相同的被测工件标准的工件或特定制品），然后同时对标准品与被测工件容腔充气（充气压力、时间等参数由工艺程确定），经过一段数秒或数十秒的平衡时间后，将标准品与工件被测容腔完全隔断进行数秒或数十秒的压力监视后比较二者的压力示值差，这个压力差就是工件被测容腔的压力泄漏值，若其值在允许范围内则认为被测品合格，否则判为不合格。适合电池包等微小泄漏检测，但对环境稳定性要求苛刻.

3. 流量法检漏（MFM330核心应用场景）

流量式[检漏仪]工作原理是向被检工件内不间歇充入一定压力气体，以质量流量计感测充入工件气体流量的变化，以此来判定工件泄漏量是否在工艺要求合格范围内。流量法的特点是测量信号与被测容积的大小无关，流量法检漏是基于气体流量变化来检测泄漏,测量信号直接反映气体泄漏量。流量法检漏通常由正压式和负压式两种。

正压流量式在充气时，若产品无泄漏，充满后流量降为零；若有泄漏，仪器会持续检测到气体流量。

负压流量式则是在抽负压后，通过充入气体的流量变化判断泄漏情况。

若感测元件是差压流量计则为差压流量法，其检漏仪为差压流量检漏仪；若是[质量流量计]则为质量流量法，其检漏仪为质量流量检漏仪。通常采用质量流量法。对于泄漏速率小于8.3 立方厘米/秒的零件，一般不采用这种检测方法。

4. 氦质谱检漏法

在其他对泄漏检测精度要求低于0.001 立方厘米/秒的行业中，氦气质量光谱分析检测方法被广泛应用。在氦气质量检测方法中，被检测设备用氦气加压，利用氦气示踪技术实现10⁻¹² Pa·m³/s级超高灵敏度检测，质量流量由检测室的质量光谱采样分析仪检测出来。这种方法的设备成本、维护与氦气成本昂贵、设备复杂，因此，该方法仅仅被典型地应用在要求最苛刻的设备的[泄漏检测]中，如半导体、航天领域。

二、关键技术要求解析：

气密性检漏装置的各种类型在不同的工业领域发挥着重要作用，而MFM气体质量流量计作为核心部件，为这些检漏装置的高效、准确运行提供了有力支持。以爱拓利MFM330系列气体质量流量计为例，其采用高精度热式传感器测量原理、搭载温度和压力补偿，基于AI自动优化补偿算法，通过测量气体流经传感器的质量流量，直接反映被测件的泄漏量。相较于传统压力传感器仅监测压力变化，MFM330能够消除温度、气体种类等因素的干扰，提供更稳定的检测结果。其核心原理为热扩散式测量：气体流经加热元件时带走热量，通过温度差计算质量流量。

1. 精度与分辨率：泄漏率检测需达到0.1 SCCM（标准毫升/分钟）级别，MFM的精度需优于±1% R.D，部分场景要求±0.5%，流量分辨率对检测精度亦有重要意义，0.001sccm的分辨率将有利于及时发现流量变化。
2. 响应时间：工业产线要求检测周期≤10秒，MFM的响应时间需≤1s，确保数据实时性。
3. 环境适应性: 温度及压力补偿：需内置温度和压力补偿，消除-20~65℃环境波动和不同区域气压波动的影响。
4. 校准与维护:定期零点校准：防止传感器漂移。
5. 数据接口与智能化：除了传统的模拟量通讯之外，集成RS485、EtherCAT等工业通讯协议，支持与PLC或上位机系统联动，实现检测数据追溯与分析。

三、典型应用场景

新能源汽车电池包检测：电池包对气密性要求严苛（泄漏率＜0.5 SCCM），MFM可快速识别壳体焊接或密封圈缺陷。

医疗器械密封性测试：如注射器、呼吸面罩等，MFM的高分辨率（0.5% F.S.）确保微小泄漏不漏检。

电子元件防水检测：手机、智能穿戴设备中，MFM快速高效同步检测，提升效率。

四、结语

MFM气体质量流量计在检漏装置中的成功应用，标志着气密性检测从“经验判断”迈向“数据驱动”。未来，随着传感器技术与算法的持续升级，MFM将进一步推动工业检漏向高效、高精度、低成本方向发展，成为智能制造质量控制体系的核心组件之一。MFM作为流量法检漏的技术支点，正在精度、可靠性、智能化维度持续突破。爱拓利等本土品牌通过正向研发构建核心技术壁垒，为3C电子、医疗器械、氢能储运等领域提供高性价比解决方案，推动中国制造向质量强国迈进。

审核编辑 黄宇