硅料废气处理远程监控物联网系统方案

半导体行业在芯片制程工艺中，因其不间断使用有机溶剂和酸溶液直接产生了大量的有毒有害的废气。比如在硅料清洗环节，所用的清洗液（酸、碱、有机溶剂）各不相同，吹干后就会产生大量氮氧化物（主要为NO、NO2、N2O3、N2O4、N2O5等），在空气中被氧化成NO2，是一种有毒具有强烈刺激性的红棕色气体。

这些废气如果没有经过处理就排放到外界中，就会造成环境污染、生态破坏甚至危害人体健康，因此需要加强对这些废气的监控管理能力，以确保环境安全。对此，物通博联提供基于工业智能网关的硅料废气处理远程监控物联网系统方案。

现场设有酸洗废气塔、碱洗废气塔、浸泡废气塔三套废气喷淋塔，同时配套自动加药系统。因此通过接入PLC，网关能够实时采集氮氧浓度、烟气流速、烟气压力、烟气温度、烟气湿度等数据，并通过5G/4G/WIFI/以太网等方式对接到云平台或本地上位机中，实现对废气处理的远程监控、管理、控制与数据分析，确保废气治理安全。

实现功能

1、整合多种传感器与仪器仪表，以实现对废气中VOCs含量、排放量以及温湿度、流速、气压等相关环境参数的即时监测与采集。

2、支持HJ212协议传输，能够将采集的数据传输至环保局平台，同时也支持本地监控平台的对接。此外还具备多网络备份与断点续传机制，确保数据传输的稳定性与可靠性。

3、对收集到的数据进行标准化处理与边缘计算，进而生成详尽的报表与直观的数据可视化界面，助力用户全面把握VOCs排放状况，及时获取超标告警信息。

3、一旦监测到数据超标，系统便会立即通过短信、微信、邮件等多种渠道向相关管理人员发送告警信息，以便他们迅速定位问题、诊断原因，并采取相应的应对措施。

4、该系统能够与其他环保设备（如催化燃烧设备、风机等）实现远程联动控制。当VOCs浓度超标并触发报警时，管理员可以远程操控这些设备的启停。

审核编辑 黄宇