创新引领国产MFC，青岛芯笙“创客中国”全国总决赛荣耀加冕-电子发烧友网

在刚刚结束的2024 第九届 “创客中国” 中小企业创新创业大赛中，青岛芯笙微纳电子科技有限公司（以下简称：青岛芯笙公司）做为青岛唯一、山东唯二的企业，从全国3.5万个大赛参赛入库项目、5009个专精特新企业、785个专精特新“小巨人”企业中脱颖而出，入围前50强，并荣获三等奖。

一、创客中国，荣耀绽放

“创客中国”中小企业创新创业大赛是工业和信息化部与财政部联合主办的大赛。旨在围绕产业链，部署创新链，配置资金链，已成为全国具有广泛影响力的大型赛事之一。历年来，诸多优秀企业和创新团队通过“创客中国”创新创业大赛展现实力，从而得到了能力提升、社会认可和政策支持，实现了快速的成长和发展。

在第九届 “创客中国” 中小企业创新创业大赛中，青岛芯笙公司在青岛市决赛中获得一等奖，在全国总决赛中斩获三等奖。其参赛项目“半导体核心零部件：气体流量测控技术与产业化”，以自主开发为基础，研制高端气体质量流量控制器（MFC）产品，满足半导体制造过程对高精度、高稳定性、高可靠性以及快速响应的严格要求，保证半导体工艺过程准确性和产品一致性。该产品为国内首款基于全国产品技术的高端MFC，其国产化对于打破半导体装备核心零部件的关键技术壁垒，对促进我国半导体产业发展具有重大意义。

此次获奖，充分展示了青岛芯笙公司卓越的研发实力和创新能力，也彰显了基于自主知识产权的国产 MFC在行业的引领地位和产业的认可。

二、筑牢根基，持续创新

青岛芯笙公司，孵化自山东大学，是一家致力于高端气体流量测控技术的国家高新科技企业，目标成为全球领先的半导体零部件供应商。其核心团队来自新加坡科技局、德国 KIT理工学院、中国科学院、清华大学、同济大学、山东大学等国内外重点科研机构，掌握核心流量传感芯片、模组、算法、系统集成等全链条自主核心技术。

自2020年成立以来，青岛芯笙公司针对半导体、实验室、泛半导体、分析仪行业分别推出极具性价比的S700、S500、S300、UT等系列产品，解决国家在关键零部件领域卡脖子技术问题，在诸多领域实现了国产化替代。经过多年发展，公司已形成完备的研发和制造能力，同时建研发车间 800 平米，制造车间 4000 平米，以及 100 余台流量校准设备，累计投入超过8000万元。公司具有 ISO9001、ISO14001 等品质管理和制造认证，能够确保产品的品质和制造的规范化。

目前，青岛芯笙公司自主申请专利 30余项，国家一级计量证书 50 余项。在国家技术攻关领域，公司承担了科技部重点研发计划项目3项、山东省重大科技创新工程项目1 项、青岛市关键技术攻关项目1项。此外，公司建有 “青岛芯笙 - 山东大学传感器测控联合实验室”、“青岛市气体流量测控技术重点实验室”、“专家工作站” 等多个研发平台。这些成果和平台为公司的技术创新和产品研发提供了有力保障。

三、全新产品，对标国际一流

近日，青岛芯笙公司在气体质量流量控制器方面取得重大突破，攻克了长期以来阻碍国产半导体级MFC发展的关键技术壁垒，成功开发出基于高速压电比例阀的半导体级 MFC 产品。这一突破对于我国半导体产业发展至关重要，目前国内主流的MFC产品采用传统的电磁比例阀技术，性能参数差，产品力不足，无法满足半导体行业高精度、高可靠性、快速响应的需求。而日本Horiba、美国MKS、荷兰Bronkhorst等业内龙头企业已然推出基于压电比例阀的半导体级MFC产品。相较而言，压电比例阀响应快，控制精度高，能够实现气体流量的快速调整，满足半导体制造过程对快速响应的要求。同时，压电比例阀功耗和热噪声低，减少了能源消耗和对环境的影响。

为满足不同应用需求，青岛芯笙公司为新产品匹配了两种版本：DF500和S700。其中，DF500采用层流差压技术方案，在控制范围和小流量精度更有优势；S700采用毛细管热式技术方案，具有更宽的量程选择和工作温度。两种版本均采用了国际领先的高速压电比例阀和SEMI标准材质，并配备了压力不敏感（PI）技术和公司最新研发的自适应动态控制算法，可在全量程流量范围内实现高精度快速控制，完美适配 7nm、14nm 及以上工艺节点的 Etch、ALD、CVD 等半导体工艺设备。