PW方块电阻的测试条件

图5-34所示为PW方块电阻的版图，图5-35所示为它的剖面图。PW方块电阻是通过DNW 隔离衬底（P-sub），如果没有DNW的隔离，这个PW 方块电阻会与 P-sub短路。

图5-36所示为PW方块电阻的电路连接图。PW方块电阻是三端器件，它的三个端口分别是电阻的两端和衬底（DNW），它们分别连到 PAD_P1、PAD_P2 和 PAD_B,WAT测试机器通过这三个端口把电压激励信号加载在电阻的两端和衬底，从而测得所需的电性特性参数数据。

PW方块电阻的 WAT参数是Rs_PW。

图5-37所示为测量Rs_PW 的示意图。测量PW 方块电阻 Rs_PW 的基本原理是在电阻的一端和衬底加载电压 DC电压1V，另一端接地，从而测得电流Ip，Rs_PW =（1/Ip）/（L/W），W和L分别是PW 方块电阻的宽度和长度。

影响方块电阻 Rs_PW的因素包括以下两方面：

1） PW 离子注入异常；

2） 离子注入损伤在退火过程中没有激活。