MEMS产业火热！未来怎么发展？四位院士解读

极目新闻记者 张屏

一台智能手机里有50—200个MEMS(微机电系统)传感器；一台智能汽车里至少有100个MEMS传感器，它们占其单车成本约1/5-1/10。在MEMS技术的加持下，智能微系统甚至能搭建出模拟人体肺部的“芯片肺”、基于人类诱导多能干细胞的心脏微系统“片上心脏”、各种“片上器官”组成的“片上人体”……

10月19日，2024东湖论坛的22场平行论坛之一、微机电（MEMS）技术创新及产业发展论坛举行，尤政、刘胜、刘明、房建成等四位院士围绕“智能传感 智领未来”作主旨报告，描绘好似科幻片的未来图景，为推动MEMS产业高质量发展建言献策；来自航空航天、船舶、轨道交通、汽车制造、新能源、冶金等领域的企业精英及专家学者开展研讨交流，共谋MEMS产业规模化、特色化、高端化发展。

MEMS集微传感器、微执行器和微能源等形成独立智能系统，融合微电子技术和微机械技术，演化而成新兴产业。MEMS制造技术广泛应用于航空航天、汽车、生物医疗、消费电子等领域，对我国关键产业、经济发展与国防安全至关重要。此次论坛备受关注，其目的是为MEMS产业在技术创新和应用拓展方面培养创新人才，加快全行业快速发展，促进形成新质生产力，推动传感器产业集聚，构建高质量产业生态链提供助力。

《芯片推动系统技术进步，系统引领芯片技术创新——微系统技术发展的思考》《集成电路技术：挑战与机遇》《量子精密磁场测量：从科学装置到计量仪器、再到芯片化传感器的研究探索》《MEMS传感器芯片先进封装测试平台》……作为行业领军人物，院士们分享了最前沿资讯和团队最新成果。在他们的发言中，“卡脖子”三个字频频出现。

“我国在产业链各环节仍然存在较大差距！”中国工程院院士、华中科技大学校长尤政是智能微系统技术及其应用研究领域的领军人物，他介绍，传感器被称为“工业基石”，是各类产业赖以生存和发展的基础，直接决定重大装备和整机产品的性能、质量；基于微系统技术与MEMS技术的智能传感器，必将成为构筑未来智能社会基础设施、工业基础支撑体系、各类装备产品的关键。目前，我国微系统与智能传感器领域的核心关键技术发展滞后，在中高端市场上，超过60%的市场份额被国外爱默生、西门子、博世、意法半导体、霍尼韦尔等外国巨头占据，特别是高端产品几乎全靠进口，80%的传感器芯片依赖国外。

如何改变当前的面貌？院士们提出，首先要关注“产教融合”，使人才培养与产业发展深度关联融合；其次要强化协同创新，对这一投资密集、产品应用广、产业分散的行业来说，急需政府、企业、高校、科研院所、用户、金融机构等各创新要素被纳入统筹规划，做到合理布局、协同创新，并通过公共研发平台建设和共性技术开发与共享机制，来实现行业的高效运行；最后要加大示范应用，可以围绕国家的重大工程任务、国家亟需的重要战略装备以及有代表性的社会经济生活需求，有组织地开展创新，体现新型举国体制的优势，推动产业集聚，形成生态链。

来源：极目新闻