《图说本源产品》系列之三：量子芯片“火眼金睛” · 无损探针台

科技自立自强不能停留在论文中、汇报中和总结中，而是要一个一个产品制造出来。本源，拥有中国第一条超导量子计算机制造链。《图说本源产品》以图片形式，系列展示中国自主量子计算系列产品。

产品简介：

“无损探针台”全称为“无损探针电学测量平台”，是本源量子自主研发的一款用于超导量子芯片常温电参数精密测量的半自动化工业母机产品，可以在不影响量子比特性能的情况下，实现量子比特常温电参数的测量，像孙悟空的“火眼金睛”一样近乎零损伤地识别量子芯片的质量优劣，从而进一步地提高量子芯片的良品率。

工作人员正在使用国内首个专用于量子芯片生产的无损探针电学测量平台对量子芯片进行检测。

该产品最小测量范围缩至微米级，探针造成的薄膜伤痕直径最小在1微米以内，测量过程不影响超导量子比特相干性能，具备高稳定性和高运动精度的优势。（孙超摄）

正在使用本源量子自主研发的无损探针台工业母机设备检测量子芯片。（孙超摄）

该产品可实现量子比特电阻的快速精准测量，对量子芯片的生产具有重要作用，能快速、精准识别量子芯片上哪些量子比特是合格的，哪些是不合格的。（孙超摄）

该产品最大的特点就是在不影响量子比特性能的情况下，实现量子比特常温电参数的测量，同样适用于半导体行业的晶圆精密电参数测试。（孙超摄）