兵器工业第二一四研究所朱小燕：为蚌埠智能传感器产业发展贡献力量

位于蚌埠龙子湖畔的中国传感谷，正聚力打造千亿级智能传感器全产业链产业集群，一群怀揣梦想、求真务实的科技工作者正奋战在科研战场，积极推动我市智能传感器产业高质量发展。朱小燕就是其中的一位。

近日，中国兵器工业第二一四研究所里，一身工作服的朱小燕才从车间出来，匆忙扒了一口饭，脑子里还在想着刚刚的测试数据。

传感器是人工智能硬件设施里的“神经元”，也是物联网最重要的“元器件”之一，是培育和发展新质生产力的重要基础性器件。通过它，能让人与物“对话”、物与物“互通”，实现“万物互联”。

工作中的朱小燕。

多年来，朱小燕一直工作在国产智能传感器及集成电路研制第一线，与团队一起不断探索、精益求精，自主研发的产品多次打破了国外技术封锁，参与研制的某低噪声放大电路，填补了国内空白，目前已批量应用。

作为中国三大传感器研发制造基地之一的蚌埠，是全省唯一、全国为数不多的同时拥有集成电路及MEMS晶圆生产线的城市。“蚌埠产业基础好、起步早、发展快，我也赶上了好时代。”朱小燕告诉记者，2012年，她研究生毕业后，就进入中国兵器工业第二一四研究所从事半导体工艺及PCM测试技术研究。

为应对复杂严峻的国际形势，2014年起，在中国兵器工业集团和蚌埠市政府的大力支持下，中国兵器工业第二一四研究所开始在蚌埠建设6英寸半导体集成电路工艺线。

朱小燕作为核心技术骨干，被任命为测试工艺班组长，负责PCM及在线测试设备的论证选型、安装调试、验收及使用维护，同时承担测试程序开发、测试方法与规范建立、测试标准设定等各种工作。

“摸石头过河，反复尝试摸索。”朱小燕说，由于是首次建设6英寸工艺线，他们遇到了许多问题，也没有经验可借鉴。为加速6英寸半导体工艺线建设，降低运行成本，抢抓半导体产业发展的历史机遇，她和团队的同事们天天加班加点、查阅文献资料、咨询设备厂家、请教同行经验、学习先进技术、探究测试原理。

通过坚持不懈的努力，她带领班组按时完成近20台测试设备的安装调试与验收，编写形成各型号测试设备规程10份、各类电路PCM测试规范22份、在线工艺检测规范3份……

功夫不负有心人，在朱小燕及班组人员的共同努力下，2016年，PCM及在线测试工艺模块建立，具备PCM及在线测试能力，保障了6英寸半导体集成电路工艺线的顺利运行。

近年来，蚌埠紧抓机遇，加快培育和发展新质生产力，把智能传感器产业集群作为全市重点打造的五大产业集群之一，依托中国兵器工业第二一四研究所等大院大所和龙头企业，建成国家级微电子机械系统(MEMS)国家地方联合工程实验室和“安徽省智能传感器创新中心”等，聚力打造中国传感谷，推动要素集聚，加快平台建设，着力构建产业链、形成产业集群、打造产业生态，在全国智能传感器产业发展中走在前列。

在高端放大器电路领域，我国曾长期依赖进口，国内鲜有全自主研制。朱小燕和团队成员一起，不畏艰难，勇挑重担，承担起两款高性能放大器电路研制工作。

近年来，基于蚌埠6英寸半导体工艺线，朱小燕和团队自主开发器件结构、工艺技术、测试方法，大胆假设，小心求证，不断迭代试验，经过三年技术攻关，突破了参数一致性差、温度漂移大等高性能放大器研制中的一系列“卡脖子”问题，将该放大器的电路精度大幅提升，电路性能指标达到国外对标产品水平。

在某图像传感器研制项目中，朱小燕通过千万次的测试与调试，不仅评估了器件性能，而且能够定位器件的缺陷位置及种类，为器件优化设计和工艺改进提供重要数据来源。目前，该图像传感器及工艺技术，处于国际领先水平，打破了国外技术封锁。同时，她参与研制的某低噪声放大电路，填补了国内空白。

她还带领班组签订“师带徒”协议，把自己学到的先进技术毫无保留地分享给同事，和同事们共同提高、共同进步。

近年来，朱小燕参与国家级和省部级重点科研项目20余项，获得专利授权4项，国防科学技术进步奖、蚌埠市“三八红旗手”……一路披荆斩棘，成为技术尖兵，绽放光芒。

“科研就像跑马拉松，大家一起坚定信心、一起跑，才能迎来最终胜利。”朱小燕说，智能传感器的星辰大海，是她值得投入全部精力去探索奋斗的毕生事业。

审核编辑 黄宇