北方华创微电子装备有限公司获半导体加工腔室专利

北京北方华创微电子装备有限公司近期获得了一项“半导体加工腔室”的专利，公布于CN112687513B号公报，专利期自2024年5月17日起生效，该专利由王某于2020年12月25日提交申请。

此项发明涉及一种半导体加工腔室，主要由腔体、可升降的基座以及内衬组件构成。内衬组件包含上内衬及下内衬，上内衬环绕腔体侧壁，下内衬则固定在外周基座上，并设有导气通道，通道包括第一环形通气口和第二环形通气口，第二环形通气口直径较小。当基座处于工艺位置时，下内衬与上内衬形成第一空间，而下内衬与腔体间则为第二空间，基座置于第一空间，升降机构位于第二空间。第一环形通气口和第二环形通气口分别连接第一空间和第二空间，以实现工艺气体的均匀分布，提升产品品质。