北方华创微电子装备有限公司“半导体设备及其晶舟”专利公布

北京北方华创微电子装备有限公司于2024年4月5日公开了一项名为“半导体设备及其晶舟”的专利，专利号CN117832112A。这项发明涉及一种晶舟，可以配合半导体设备实现批量半导体工艺处理，同时也能提高设备良率和减少污染风险。

具体来说，这种晶舟包括副晶舟支架，能够在批量半导体工艺处理达到预定进度时，以上下层叠的方式支撑多个晶圆，使其暂时离开主晶舟支架。当主晶舟支架旋转至特定角度后，副晶舟支架会进行复位操作，让晶圆重新回到主晶舟支架。这样做不仅可以改变晶圆与主晶舟支架的接触位置，防止晶边局部薄膜缺失，还能消除因颗粒污染而导致的半导体设备故障，从而提高设备良率。此外，这种设计并未增加半导体设备在处理晶圆时的制程道数。