液体流量计在单晶炉设备中的应用方案

近年世界光伏市场增长非常迅速，光伏产业也随之迅速扩张。单晶炉是半导体和太阳能行业重要的生产设备，其冷却水系统较为复杂，对安全性的要求较高。

在高炉消费过程中，由于炉内产生大量的热量，任何炉衬材料都难以承受这样的高温作用，必须对其炉体进行合理的冷却，同时对冷却介质进行有效的控制，以便到达有效的冷却，使之既不危及耐火材料的寿命，又不会因为冷却元件的泄露而影响高炉的操作。因此对高炉冷却介质进行必要的监测和控制尤为重要。

生产单晶硅的单晶炉设备，它的内部结构复杂，而单晶硅的生产对环境要求极为苛刻，比如炉体温度；如果冷却水供应不及时，就可能导致炉体变形，造成硅晶体产品的不合格以及设备的损失，所以需要在冷却水的主管路和支管路上对水进行流量的实时监测。

奥松电子研发的涡街水流量计可以对单晶炉、切片机、扩散炉等设备的冷却系统中的冷却水流量进行精准监测，以达到冷却降温的需求，保障产品合格，设备正常运行。水流量计通过传感器芯片感应漩涡大小，可测量2～16 L/min、5～40 L/min、10～100 L/min等流经管道内的多个量程范围的液体流量，传感器具有＜2%的出色重复性，流量精度小于±3%F.S，可在-10℃至65℃的环境温度下保持性能稳定，表现出色，性价比高。内部无运动部件，具有长使用寿命、耐污染、高精度、无漂移等特点。

审核编辑 黄宇