大连理工大学发布氮化镓气体传感器专利

大连理工大学在2024年3月公开发表了一项名为“氮化镓气体传感器及其制备方法、应用”的专利，编号为CN117761126A。

该发明的核心在于一种以氮化镓薄膜为主要材料的气体传感器的制备与运用。其制法包括：首先，通过对衬底进行镀膜工艺生成非晶氮化镓薄膜，然后将其加热至特定温度，使之转化为多晶氮化镓薄膜；接着，利用湿法腐蚀技术，在多晶氮化镓薄膜表面形成多孔结构，最后，使用光刻及图案化工艺在这一具有多孔结构的衬底上制作出叉指电极图形作为最终产品。该设计以特殊的叉指电极图形为基础，实现了对氨气的高灵敏度、低检测限及高敏选择性的要求。