FixInst荣获“科技创新奖优秀奖”！
经过 FixInst 材料研发团队的不懈努力，项目《基于晶振微天平原理的超低湿度测量技术及应用》研发落地成功！
在《2022年度民营科技发展贡献奖》评选中，成功荣获了由中华人民共和国科学技术部、国家科学技术奖励工作办公室批准设立、中国民营科技促进会颁发的“科技创新奖优秀奖”！
项目介绍
FIXINST-Q QCM双QCM湿度敏感层的多孔结构
应用方向：
气体纯度品质其中一个核心参数的检测。例如电子特气 (>5N) 几乎贯穿整个半导体制程工艺包括沉积、光刻、刻蚀、扩散、退火等关键工序。其杂质含量直接影响晶圆厂的技术指标和良率
项目优势：
超低露点（-120 ℃td）湿敏材料的成功研发，可检测超高纯度 (>6N) 电子特气的杂质含量；双QCM传感器的专利方案，可实时在线进行污染补偿，大大改善了QCM怕污染的弱点
目前产业化应用产品：
F138x 系列 QCM露点及压力多参数变送器F141x 系列 双QCM标准型露点变送器
审核编辑：刘清
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原文标题：企业荣誉 | FixInst 荣获科技创新奖优秀奖！
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