万业企业助推凯世通获得批量采购订单

万业企业旗下子公司凯世通近期向两家客户分别提供了多部12英寸集成电路低能大束流离子注入机，此举标志着凯世通设备在在经过客户端设备验证之后，迅速获得大量订单。

离子注入机在芯片制造中具有重要地位，不仅验证困难，研发难度也极高，被视为当前半导体发展的核心装备和必需的国产替代设备。其中，低能大束流离子注入机占据大约60％的市场份额。由于技术门槛较高，其研发和生产技术与国际领先水平还有较大差距。

据业内人士透露，凯世通长期专注于该行业，产品已应用于逻辑、存储、功率等多个应用领域。他们所生产的低能大束流离子注入机和高能离子注入机已经实现了产业化突破，无论是工艺覆盖面，还是良品率，甚至产能，都处于业界领先位置。公司坚持正向设计和自主创新，掌握了大束流离子源、视觉对准系统、高均匀性AMU、固态源蒸发器、束流均匀性调节装置、减速装置等一系列关键技术模块，成功解决了极低能和大束流之间的技术难题。

除此之外，为了提升精度，减少污染，以及提高产能，凯世通研发了五轴控制的机器人、高精度视觉对准系统等硬件和基于物理模型算法和专家系统的Beam Auto Tune软件系统，实现了离子注入机工作过程中的智能控制。而他们的离子注入机现在已经具备了Glitch自动修复功能，确保了机器在任何环境下都能安全、稳定地运行。其中，在今年上半年，凯世通共获得了139项专利授权，包括83项发明专利。这些成果使得凯世通荣获“中国半导体领域高质量引领企业”称号，并成为首个完成国产高能离子注入机产线验证和验收的厂商。