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FOSB和FOUP傻傻分不清楚?

SGS半导体服务 来源:SGS半导体服务 2023-12-22 16:08 次阅读

如果我们发挥想象,一片一片的wafer(晶圆)在这FAB(晶圆厂)大乐园里搭乘着各种自动化移动工具(比如AGV(无人运载车)、ARM机械手臂)、OHT(天车)),一会儿去泡个澡(浸泡清洗),一会儿去加工一下,那么,FOSB(前开晶圆运输盒)、FOUP(前开式晶圆传送盒)就可以被想象成是它们的搭乘车厢,有的对外移动,有的内部移动,当然也不能忘了还有敞篷式的OPEN CASSETTE(开放式装载盒)。

那么这些乘载器具有什么不同呢?

FOSB(前开晶圆运输盒)

负责晶圆制造厂与芯片制造厂间wafer的运输。

FOUP(前开式晶圆传送盒)

针对12寸厂内部wafer的保护、传送运输与储存。

这些乘载器具主要是以一次可以装载25片wafer为主(当然也会有一些特殊规格)。

不论是FOSB、FOUP、OPEN CASSETTE还是其他各种wafer乘载器具,都应该非常小心地对待有重度洁癖的wafer,保护好wafer避免其受到任何“伤害”或“生病”。

这些wafer的车厢除了要使用适当材质,以确保整个运输过程更加安全稳固之外,还需要能够经受住各种环境的考验,例如抗吸湿、抗高温等。最重要的是,这些wafer的车厢内必须保持极高的洁净度,并且不能散发任何气味,尤其是那些可能会损害wafer健康的物质。

这些都需要通过专业的实验室事先进行仔细检查和确认,然后才能上线使用,甚至对于正在使用中的也需要定期进行保养和检查。

SGS半导体超痕量分析实验室能提供FOSB , FOUP , OPEN CASSETTE这些wafer乘载器具的相关检测服务:

晶圆盒表面Particle(微颗粒)检测

晶圆盒表面微量金属含量检测

晶圆盒表面微量离子含量检测

晶圆盒内材质outgassing(释气)有机气体采样分析

晶圆盒内材质outgassing(释气)酸碱体采样分析






审核编辑:刘清

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原文标题:涨知识 | FOSB和FOUP傻傻分不清楚?(文末有福利)

文章出处:【微信号:SGS半导体服务,微信公众号:SGS半导体服务】欢迎添加关注!文章转载请注明出处。

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