激光干涉仪可以完成什么测量？

激光干涉仪以光波为载体，其光波波长可以直接对米进行定义，且可以溯源至国家标准，是迄今公认的高精度、高灵敏度的测量仪器，在高端制造领域应用广泛。

激光干涉仪的工作原理

激光干涉仪发射单一频率光束，光束射入线性干涉镜后分成两道光束射向反射镜，这两道光束再反射回到分光镜，最后重新汇聚返回激光干涉仪。若光程差没有变化时，激光干涉仪会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。若光程差有变化时，这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。

激光干涉仪可以完成哪些测量？

1、在机械制造领域中，可以用来检测零部件的尺寸误差和形状误差。
2、几何参量高精密测量：激光干涉仪可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量。
3、精密运动设备导轨的检测：激光干涉仪可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等。
4、同步测量：激光干涉仪可实现龙门机床双轴同步测量。
5、回转轴的测量与校准：激光干涉仪可实现对机床回转轴的测量与校准。
6、动态测量与分析：激光干涉仪具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。
7、误差补偿表生成：激光干涉仪可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据。
8、环境补偿：激光干涉仪支持手动或自动进行环境补偿。

SJ6000激光干涉仪应用

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