长鑫存储“半导体设备生产效率的评估方法及装置”专利获授权

长鑫存储技术有限公司申请了“半导体设备生产效率的评估方法及装置”的专利。申请公告日为9月8日，申请公告号为cn113673812b。

根据专利摘要，本申请提供如下评价半导体设备生产效率的方法及装置：评价半导体设备生产效率的方法是：提供1个半导体设备，半导体设备至少包括1个制造单元。半导体设备获得按顺序生产多个晶圆的生产参数，并根据生产参数决定连续批次生产结束时间之间的时间间隔。每片配置的每片晶圆获得进入每片生产单位的时间，每片配置的所有晶片决定每片生产单位的时间。为了测定半导体设备的生产效率，测定存在时间和存在时间之间的比率。

即，迅速找出瓶颈单元，并将限制设备生产效率的单元和其他单元能够提高的范围一眼就能反映出来。