本文是关于MEMS微传感器的工作原理最全面的内容,分为两部分,共计212页PPT内容。 主要讲解了MEMS微传感器的概念、分类,基本敏感原理介绍,MEMS微传感器实例、MEMS微执行器分类、基本致动方式介绍、微执行器实例等内容,对MEMS微传感器的相关知识介绍得很全面,推荐需要深入了解MEMS微传感器工作原理的伙伴分享、收藏。
审核编辑 黄宇
声明:本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人,不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用,如有内容侵权或者其他违规问题,请联系本站处理。
举报投诉
-
mems
+关注
关注
128文章
3734浏览量
188681 -
微传感器
+关注
关注
0文章
17浏览量
7843
发布评论请先 登录
相关推荐
汽车电子MEMS传感器的应用
电流型、谐振式和热电偶式等形式。其中,电容式MEMS加速度计具有灵敏度高、受温度影响极小等特点,是MEMS微加速度计中的主流产品。微陀螺仪微
发表于 12-07 15:42
MEMS传感器是什么?mems的工艺是什么?
和控制电路、直至接口、通信和电源等集成于一块或多块芯片上的微型器件或系统。而MEMS传感器就是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。MEM
发表于 12-09 17:46
一文读懂磁传感器工作原理及应用
A移动到目的地B。和其它很多用来维系现代生产生活正常运转的半导体器件一样,用户是看不见磁传感器的,但对于那些我们早已习以为常的许多功能而言,它却扮演着举足轻重的角色。工作原理磁传感器的
发表于 11-05 10:37
MEMS磁传感器主元件SEM电连接及设计
进行设计,由此确定器件的结构、使用的材料、应用的工作原理和感应技术等。MEMS设计人员可以根据模拟和建模工具选择制造传感器的最佳工艺和材料,并预测MEMS磁
发表于 11-09 10:38
基于单晶硅传感器的MEMS惯性传感器工作方式
到。这对应于仅0.0005°(2弧秒或10 µm / M)的偏转。 图1 检测示意图 数字化的未来 MEMS传感器技术是物联网的一项关键技术。随着数字化的发展,微型的加速度计和倾角仪也将继续发展
发表于 07-07 09:36
图解通信原理与案例分析传感器种类以及传感器工作原理详解
的传感器进行汇集的的设备。本文就是探讨这些传感器自身的工作原理,以及它们是如何传递信息的 。至于有大量的单体传感器构建的构建的微型通信系统,即传感
发表于 06-30 07:47
光学心率传感器的工作原理
本文是主题为“用于生物计量可穿戴设备的光学心率传感器”三篇系列文章的第一篇。本篇着重介绍这些传感器系统的工作原理和通过它们可以测量什么。大部分可穿戴设备采用光电容积脉搏波描记法(PPG
发表于 11-11 07:23
详解MEMS微传感器的工作原理
本文是关于MEMS微传感器的工作原理最全面的内容,分为两部分,共计212页PPT内容。 主要讲解了MEMS微传感器的概念、分类,基本敏感
评论