9812DX低频噪声测试系统产品介绍

9812DX作为单一完整的低频噪声测试系统，支持多种半导体器件类型在各种工作条件下（如200V高压、10pA极低电流等）的高精度噪声测试。通过低频噪声测试，可以帮助芯片制造厂检测和排除工艺制造缺陷，确保芯片质量符合预期，提高芯片稳定性。

晶圆级噪声测试精度和高测试带宽，最低测试噪声的电流精度低至10-27A2/Hz。

典型噪声测试速度提高至一个偏置条件仅需20s、最高测试电压提高到200V。

通过并行测试架构解决方案以及协同FS-Pro半导体参数测试系统等方式大幅度提高测试效率和吞吐量。

用于28/14/10/7/5/3nm等各工艺节点的先进工艺研发和高端集成电路设计。

内置功能强大的NoiseProPlus软件，支持1/f噪声、RTN噪声测试和数据分析。

产品亮点：

行业黄金标准：全球半导体行业低频噪声测试“黄金标准”系统

广泛采用：已被众多行业领先半导体公司所采用的标准测试系统

并行测试：经头部客户验证的高精度、高测试吞吐率并行测试能力

宽量程：晶圆级高精度和测试带宽宽电压、宽电流、宽阻抗测量范围

系统架构：系统体系架构经行业认可并不断完善兼具高精度和可靠性

覆盖广泛：同时覆盖从10Ω到10MΩ的高阻抗器件和低阻抗器件测试能力

技术参数：

宽量程： 最大器件端电压和电流 : 200V, 200mA

高精度： 最高 DC 电流精度 : 10pA、 系统噪声电流精度 : <10-27A2 /Hz

测试速度：典型 1/f 噪声测试速度可达 10 秒 /bias

抗阻范围：阻抗匹配范围 : 10Ω-10 MΩ Gate/Base

电阻多达 16 个选择

Drain/Collector 电阻多达 15 个选择

系统参数： 电压放大器：0.03-10MHz, 0.65nV/Hz(@5kHz)

电流放大器：0.03-1MHz, 0.7pA/ Hz(@5kHz)

宽带电流放大器：0.03-10MHz, 5pA/ √Hz (@5KHz)

高精度电流放大器：0.03-20KHz, 60fA/ √Hz (@5KHz)

可编程偏置滤波器 、ESD 保护

内置 16 位 DSA

支持多台并行测试

产品应用：

先进工艺质量/工艺评估和品质监控

低频噪声特性测试和噪声数据分析

半导体器件SPICE模型库开发

高端集成电路设计和验证

审核编辑 黄宇