激光功率计和能量计是如何工作的

功率计一般由热电堆或光电二极管构成，热电堆用来测高功率，光电二极管用来测低功率。能量计由热释电材料构成，热释电材料对脉冲信号有响应。其中将激光功率转换成热量的膜层起着非常重要的作用，是激光功率或能量计的核心技术。

热电堆功率计反应时间都比较慢，由其原理决定的，热电堆功率的响应时间取决于激光在功率计表面被膜层吸收后，产生的热量传递到功率计圆盘边缘所需要的热传递时间。测量功率越大，一般来说所需要的探测圆盘直径越大，对较大的功率计探头而言，热传递所需要的时间都在秒量级，所以超大功率计所需要的响应时间也比较长。当然也有一些特殊设计的热电偶结构，测量热传递的方向和激光方向一致，把这个方向的热电偶做的很薄，微米量级，这样大大降低了热传递所需要的时间，可将功率计热响应时间下降到毫秒以下。

热电堆原理：

热电堆功率计是由串联的热电偶构成，当激光被探头表面的膜层吸收掉转化成热量，热量向热电偶传递并形成温度梯度场，热电堆探头内外两个节点由于温度差产生温差电动势，每对内外节点产生的温差电动势串联起来的总电压与入射光被膜层吸收转化的热量成比例。

光电二极管功率计原理：

光电二极管的核心部分是个PN结，当在PN结加上适当反向电压时，由于缺乏载流子， PN结内无电流通过。当光子照射在PN结上时，电子或空穴摆脱束缚，在PN结内形成光生载流子，光生载流子在电场的作用下产生漂移而形成电流，电流的大小和入射光的能量成比例。光电二极管是基于光电效应，响应时间很快单也很容易电流饱和，智能测非常小的功率。

热释电能量计原理：

当热释电晶体受热时，晶体就会产生极化现象，使晶体两端产生极化电荷，在晶体的两端镀上金属层，构成了一个电容器。则在温度梯度作用下，极化的电荷集结在电容器的两端，产生电压信号。电压信号与探测器膜层吸收光转化的热量形成的温度梯度成正比。热释电探头不适合探测连续或长脉宽的激光，因为电容器的存储的电荷容易饱和或者说电容器只对交流或脉冲信号有响应。

高重频复合功率计探头原理：

这种探头有一个光电探测器和一个热电堆探测器构成，光电探测器具有较高的响应速度，可以探测脉冲的相对能量和重频。热电堆可以探测高平均功率。光电探测器得到的数据和热电堆得到的数据就可以计算出高重频、高能量的单发脉冲能量。

带位置追踪功能的功率计：

有的功率计不仅可以探测功率，还可以探测能量中心的位置。这种由热电偶串连起来的热电堆再引出三个电极，从而可以分别得到四个象限的电压值，根据四个象限的电压信号，可以计算到能量中心在四个象限的位置。

审核编辑：汤梓红